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PECVD법으로 구리 막 위에 증착된 실리콘 박막의 이차전지 음전극으로서의 전기화학적 특성
심흥택, 전법주, 변동진, 이중기, Shim. Heung-Taek, Jeon. Bup-Ju, Byun. Dongjin, Lee. Joong Kee 한국전기화학회 전기화학회지 6 Pages
한국전기화학회 전기화학회지 2004, Vol.7 No.4 173-178 (6 pages)
플라즈마 화학 기상 증착법으로 구리 막$(foil,;35{mu}m)$표면 위에 $SiH_4$와 Ar혼합가스를 공급하여 실리콘 박막을 증착 한 후 리튬 이온전지의 음극으로 활용하였다. 증착 온도에 따라 비정질 실리콘 박막과 copper silicide박막 형태의 다른 두 종류의 실리콘 박막 구조가 형성되는 것이 관찰되었다. $200^{circ}C$ 이하의 온도에서는 비정질 실리콘 박막이 증착되었고, $400^{circ}C$ 이상의 온도에서는 실리콘 라디칼과 확산된 구리 이온의 반응에 의한 그래뉼러 형태의 copper silicide박막이 형성되었다. 비정질 실리콘 박막은... -
플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO2 증착의 불균일성 원인 연구
함용현, 권광호, 이현우, Ham. Yong-Hyun, Kwon. Kwang-Ho, Lee. Hyun-Woo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.2 89-94 (6 pages)
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PECVD로 합성한 다이아몬드상 카본박막의 전기적 특성
최원석, 박문기, 홍병유, Choi. Won-Seok, Park. Mun-Gi, Hong. Byung-You 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2008, Vol.21 No.11 973-976 (4 pages)
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PECVD법에 의해 제조된 SnO2 박막의 공정변수에 따른 미세구조 및 특성
이정훈, 장건익, 손상희, Lee. Jeong-Hoon, Jang. Gun-Eik, Son. Sang-Hee 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2006, Vol.19 No.7 680-686 (7 pages)
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PECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC 박막의 기계적 특성 분석
전영숙, 최원석, 홍병유, Jeon. Young-Sook, Choi. Won-Seok, Hong. Byung-You 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2006, Vol.19 No.7 631-635 (5 pages)
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PECVD SiNx 박막의 다결정 실리콘 태양전지에 미치는 영향
김정, Kim. Jeong 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.7 662-666 (5 pages)
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$N_2O$가스를 사용하여 PECVD로 성장된 Oxynitride막의 특성
최현식, 이철인, 장의구 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1996, Vol.9 No.1 9-17 (9 pages)
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PECVD Chamber Cleaning End Point Detection (EPD) Using Optical Emission Spectroscopy Data
Lee. Ho Jae, Seo. Dongsun, Hong. Sang Jeen, May. Gary S. 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2013, Vol.14 No.5 254-257 (4 pages)