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표면탄성파 전파속도 측정에 의한 초격자 다층박막의 유효탄성계수 결정
김진오 한국음향학회 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 5 Pages
한국음향학회 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 2000, Vol.19 No.5 41-45 (5 pages)
단결정 초격자 다층박막의 유효탄성계수를 표면탄성파 전파속도에 근거하는 두 가지 방법에 의하여 결정하였다. 첫째 방법은 구성층의 탄성계수로부터 초격자의 유효탄성계수를 계산하는 공식을 사용한다. 계산된 유효탄성계수로 계산한 기판 위 박막의 표면탄성파 전파속도와 선집속 초음파현미경으로 측정한 표면탄성파 전파속도를 비교하여 그 유효탄성계수를 검증한다. 둘째 방법은 선집속 초음파현미경으로 측정한 표면탄성파 전파속도 분산 데이터로부터 역산하여 초격자 다층박막의 유효탄성계수를 결정한다. 두 가지 방법을... -
리벳구멍을 가진 알루미늄 패널에서 피로균열의 탐지와 균열길이 측정
김정찬, 권오양, Kim. Jung-Chan, Kwon. Oh-Yang 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 10 Pages
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 2007, Vol.27 No.1 38-47 (10 pages)
박판 구조를 대상으로 음향방출(AE)을 이용하여 피로균열을 탐지하고, 표면초음파(SAW)를 이용하여 균열길이를 측정하였다. 누적 AE 발생수 곡선은 단균열(short crack)의 발생과 성장에 따라 일정한 간격을 두고 급격히 증가하는 계단식 형태로 나타났으나 피로균열의 성장은 지수함수적인 증가를 보였다. SAW를 이용한 균열길이 측정은 균열길이가 다른 13개의 균열에 대하여 실시하였고, 측정된 데이터를 이동식 현미경으로 측정한 결과와 비교하였다. 그 결과 1 mm 이하의 단균열의 크기를 표면초음파 방법으로 측정하는 것은 거의... -
표면파를 이용한 쇼트피닝된 Al 7075 합금의 잔류응력 평가
김정석, 김용권, 박익근, 권숙인, Kim. Chung-Seok, Kim. Yong-Kwon, Park. Ik-Keun, Kwun. Sook-In 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 6 Pages
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 2006, Vol.26 No.5 291-296 (6 pages)
표면파를 이용하여 쇼트피닝된 Al 7075 합금의 잔류응력 분포를 평가하고자 하였다. 재료 내 표면층에 대한 잔류응력분포를 달리하기 위해서 피닝볼의 속도를 30m/s로 하여 쇼트피닝을 수행하였다. 표면파의 속도는 초음파현미경을 이용하여 V(z)곡선법으로 측정하였다. 쇼트피닝 후 비커스경도를 측정한 결과 쇼트피닝에 의한 소성변형으로 0.25mm 깊이까지 가공경화가 나타났다. 압축잔류응력이 증가하면서 표면파의 속도는 증가를 하였고 인장잔류응력이 작용할수록 표면파의 속도가 감소하였다. 표면파의 속도 변화는 X선 회절에 의해... -
다이아몬드 기판상에 증착된 ZnO 압전박막의 탄성표면파 특성
김영진, 정영호 한국결정학회 한국결정학회지 8 Pages
한국결정학회 한국결정학회지 1996, Vol.7 No.2 175-182 (8 pages)
변화가 관찰되고 있는데, 이들 변수의 크기가 증가할수록 SAW소자에 적합한 양질의 배향성 박막을 얻을 수 있었다. 실험에서 얻은 최적조선은 rf 전력 300W, 기판온도 300℃, Ar/O2=50/50 이다. SAW 특성을 분석하기 위하여 diamond/Si 기판위에 Al 박막을 증착시킨 후 자체 제작한 마스크를 이용하여 건식 식각법에 의한 IDT 제작을 시도하였다. 그 다음 위의 최적 조건에서 ZnO 박막을 증착하고 탄성표면파 특성을 분석하였다. 측정에 사용한 디자인은 λ(파장)는 24μm으로서 측정결과 simulation 값과 실험치가 잘 일치하고 있었다....