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HDP CVD 챔버 형상 변화에 따른 가스 유동 균일성에 대한 연구
장경민, 김진태, 홍순일, 김광선, Jang. Kyung-Min, Kim. Jin-Tae, Hong. Soon-Il, Kim. Kwang-Sun 한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 5 Pages
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 2010, Vol.9 No.4 39-43 (5 pages)
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Cu-to-Cu 웨이퍼 적층을 위한 Cu CMP 특성 분석
송인협, 이민재, 김성동, 김사라은경, Song. Inhyeop, Lee. Minjae, Kim. Sungdong, Kim. Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 5 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2013, Vol.20 No.4 81-85 (5 pages)
웨이퍼 적층 기술은 반도체 전 후 공정을 이용한 효과적인 방법으로 향후 3D 적층 시스템의 주도적인 발전방향이라고 할 수 있다. 웨이퍼 레벨 3D 적층 시스템을 제조하기 위해서는 TSV (Through Si Via), 웨이퍼 본딩, 그리고 웨이퍼 thinning의 단위공정 개발 및 웨이퍼 warpage, 열적 기계적 신뢰성, 전력전달, 등 시스템적인 요소에 대한 연구개발이 동시에 진행되어야 한다. 본 연구에서는 웨이퍼 본딩에 가장 중요한 역할을 하는 Cu CMP (chemical mechanical polishing) 공정에 대한 특성 분석을 진행하였다. 8인치 Si 웨이퍼에... -
선박용 SCR 시스템에서 혼합기 구조에 따른 난류유동과 우레아 수용액의 혼합특성
김태경, 성연모, 한승한, 하상준, 최경민, 김덕줄, Kim. Tae-Kyoung, Sung. Yon-Mo, Han. Seung-Han, Ha. Sang-Jun, Choi. Gyung-Min, Kim. Duck-Jool 한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회지 9 Pages
한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회지 2012, Vol.36 No.6 814-822 (9 pages)
균일지수(Uniformity Index)를 상세히 분석하여 SCR 성능을 개선하는 것이다. 그 결과, 촉매부 전단에서의 농도균일도는 혼합기를 사용하였을 경우 약 5% 개선됨을 알 수 있었다. 상하유도형 혼합기의 사용에 따라 주위에서 높은 RMS 수치 및 상대난류강도를 보이지만, 하류로 진행하면서 두 값은 감소하는 경향을 보였다. 스월형 혼합기의 경우 유동의 진행에 대해 RMS 수치와 상대난류강도의 감소가 비교적 적고 상대난류강도의 경우 상대적으로 균일한 분포를 보였다. 두 혼합기에서 발생하는 유동특성에 의해 혼합효과 및 혼합거리가... -
여러 가지 입도분포를 갖는 섬유혼합토의 동적변형특성
목영진, 정성용, 박철수, Mok. Young-Jin, Jung. Sung-Yong, Park. Chul-Soo 한국도로학회 한국도로학회논문집 9 Pages
한국도로학회 한국도로학회논문집 2005, Vol.7 No.1 39-47 (9 pages)
최근 들어 섬유혼합토가 도로 및 철도의 성토노반, 기층재료로 활용되기 시작하여 섬유혼합토의 변형특성에 대한 연구가 필요하게 되었다. 본 논문에서는 공진주시험을 통하여 섬유혼합토의 거동특성과 보강효과를 평가하였다. 여러 가지 입도의 사질토에 폴리프로필렌(polypropylene) 재질의 단섬유(staple fiber)를 중량비 0.3%로 혼합하여 시료를 성형하였다. 섬유혼합토의 최대전단변형계수는 양입도일수록 증가해, 비혼합토에 비해 최대 30%까지 증가하였다. 양입도의 전단변형계수는 빈입도보다 모든 전단변형률 범위에서 구속압에... -
점적 급액 방식에서의 양액 공급량 예측 프로그램의 개발
오길근, 류관희, 홍순호 한국농업기계학회 한국농업기계학회지 7 Pages
한국농업기계학회 한국농업기계학회지 1995, Vol.20 No.4 390-396 (7 pages)
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입제비료 살포기의 출구조절에 의한 균일도의 분석과 제어
권기영, Kweon. G. 한국농업기계학회 바이오시스템공학 11 Pages
한국농업기계학회 바이오시스템공학 2009, Vol.34 No.2 95-105 (11 pages)
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ECR-MOCVD에 의해 연성 고분자 기판에 제조된 구리막의 균일도에 전극의 형태가 미치는 영향
전법주, 이중기 한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 13 Pages
한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 2004, Vol.7 No.1 34-46 (13 pages)
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Characterization of via etch by enhanced reactive ion etching
Bae. Y.G., Park. C.S. 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 8 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2004, Vol.14 No.6 236-243 (8 pages)