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361.

PECVD에 의해 작성된 탄소계 박막의 전계전자방출특성에 대한 증착온도 의존성에 관한 연구

류정탁, 백양규, 이형주 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2003, Vol.12 No.1 35-39 (5 pages)

류정탁, 백양규, 이형주 저

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20 V/$mu extrm{m}$이었다. 그러나 증착온도가 $500^{circ}C$로부터 $600^{circ}C$로 증가함에 따라 문턱전압은 17 V/$mu extrm{m}$에서 10 V/$mu extrm{m}$으로 감소하였으며 $800^{circ}C$에서는 문턱전압이 B V/$mu extrm{m}$로 크게 개선되었다. 박막의 표면형태, 구조적인 특징과 전계전자방출특성의 관계를 조사하기 위해서 라만 스펙트럼과 주사형전자현미경 (scanning electron microscopy : SEM)을 사용하였다. 박막의 물리적, 화학적, 특성은 증착온도에 매우 의존하며 이들 특성들은 전계전자방출특성에 큰 영향을 미친다는...
362.

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 MFM 구조의 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막 특성에 관한 연구

이후용, 최훈상, 최인훈 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2000, Vol.9 No.2 136-143 (8 pages)

이후용, 최훈상, 최인훈 저

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구조적인 특징들이 열처리 시간의 변화와 Ar/$O_2$의 가스 유량비의 변화에 따라서 XRD(x-ray diffractometer)에 의해 관찰되었으며 표면 특성은 FE-SEM(field emission scanning electron microscopy)에 의해서 관찰하고 박막의 전기적 특성들은 P-V(polarization-voltage measurement)와 I-V(current-voltage measurement)를 사용하여 관찰하였다. 스퍼터링 증착시 Ar/$O_2$의 가스 유량비는 1:4에서 4:1까지 변화 시켰고 SBT박막은 상온에서 증착시켰다. XRD 측정시 박막들은 SBT의 (105), (110) peak들을 나타내었다. 상온에서...
363.

실리콘 트렌치 식각 특성에 미치는 $He-O_2,; SiF_4$첨가 가스의 영향

김상기, 이주욱, 김종대, 구진근, 남기수 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.4 364-371 (8 pages)

김상기, 이주욱, 김종대, 구진근, 남기수 저

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수 있었다. 표면 잔류물 특성 및 표면 거칠기(roughness)등은 HBr/He-$O_2$/$SiF_4$가스를 동시에 주입하여 식각하였을 때 가장 양호한 식각 특성을 나타내었으며, 첨가 가스로 $SiF_4$를 이용함으로써 기존의 C-F계 플라즈마를 이용한 트렌치 식각 특성들보다 우수한 공정 결과를 얻었다. 또 한 $SiF_4$를 이용함으로써 $CF_4$ 첨가시보다 C의 잔류물을 크게 줄이고 표면 손상을 개선할 수 잇음을 X-선 광전자 분석과 주사전자현미경(scanning electron microscopy) 및 AFM(atomic force microscopy)의 결과로써 확인하였다.
364.

실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구

박상호, 권광호, 정명영, 최태구 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.3 287-292 (6 pages)

박상호, 권광호, 정명영, 최태구 저

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single Langmuir probe 및 optical emission spectroscopy(OES)를 이용하여, 식각 변수에 따른 ICP의 플라즈마 특성을 관찰하였다. 이상의 결과를 토대로, $SiO_2-P_2O_5$로 구성된 실리카 도파로의 코아(core)층을 형성하였고, 이때 최적화된 식각 조건 에서 식각 속도는 380nm/min이고, 마스크 층으로 사용된 Al(Si 1%)와 산화막과의 식각 선 택비는 30:1이상이였다. 형성된 실리카 도파로를 scanning electron microscopy(SEM)으로 관찰한 결과, 코아층의 식각 단면이 수직하고 패턴 선폭의 손실이 거의 없음을 확인하였다.
365.

TDEAT single source를 사용한 TiN막의 특성평가

김재호, 이재갑, 박상준, 신현국, 황찬용 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1995, Vol.4 28-33 (6 pages)

김재호, 이재갑, 박상준, 신현국, 황찬용 저

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Tetrakis(diethylamido)titanium[TDEAT, Ti(NEt2)4]single precursor를 사용하여 증착하였다. 증차고딘 박막은 SEM(Scanning Electron Microscopy)으로 surface morphology와 step coverage를 측정하였고, TEM(Transmission Electron Microscopy)분석결과 microcrystalline의 TiN을 확인하였다. XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)분석결과에 따르면 $200-500^{circ}C$구간에서는 $eta$-hydogen elimination에 의한 반응이 일어나고 $600-700^{circ}C$구간에서는 thermal decomposition에 의한 반응이 일어나고 있음을 알 수 있다....
366.

질소이온주입에 의한 AI 합금의 조직변화 및 내식성 향상에 관한 연구

엄기원, 윤주선, 한전건, 연윤모 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1995, Vol.4 No.2 183-188 (6 pages)

엄기원, 윤주선, 한전건, 연윤모 저

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imes}10^{17}ions/ extrm{cm}^2$의 조건으로 행하였으며 AI합금의 열화를 방지하기 위하여 시편온도를 $60^{circ}C$이하로 유지하였다. 질소이온 주입재의 재식성 평가를 위하여 3.5% NaCI 용액에서 양극분극시험 및 5% NaCI 용액에서 염수분무시험을 행하였다. Auger Electron Spectroscopy와 Transmission Electron Microscopy을 이용하여 표면의 질화물형성 여부를 조사하였으며, Scanning Electron Microscopy을 이용하여 부식된 표면을 관찰하였다. AI2218합금에 질소이온을 주입한 결과 표면에 미세한 AIN 석출물을 형성하였으며...
367.

시화지구 연약점토의 광물학적 특성과 공학적 특성의 상관관계

김낙경, 박종식, 주용선, Kim. Nak-Kyung, Park. Jong-Sik, Joo. Yong-Sun 한국지반공학회 韓國地盤工學會論文集 12 Pages

한국지반공학회 韓國地盤工學會論文集 2004, Vol.20 No.9 155-166 (12 pages)

김낙경, 박종식, 주용선, Kim. Nak-Kyung, Park. Jong-Sik, Joo. Yong-Sun 저

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국내 연약지반 활용을 위한 효율적이고 경제적인 안정처리 공법의 선정과 설계 및 시공을 위해서는 대상지반의 특성을 파악하는 것이 대단히 중요하다. 본 연구는 시화지구 연약점토의 물리적, 역학적 특성과 광물학적 특성을 파악하여 연약점토의 물리적, 역학적 특성과 광물학적 특성과의 상관관계를 알아보는 데 그 목적이 있다. 본 연구에서 는 연약점토의 광물학적 특성을 파악하기 위하여 X선 형광분석, X선 회절분석, 주사전자현미경분석과 에너지분산미분석 실험을 실시하였으며 시화지구 연약지반의 시추조사결과, 실내시험 및...
368.

Morphology and distribution of some marine diatoms, Family Rhizosoleniaceae, in Korean coastal waters: a genus Rhizosolenia 1

Yun. Suk-Min, Lee. Jin-Hwan 한국조류학회(藻類) Algae 10 Pages

한국조류학회(藻類) Algae 2010, Vol.25 No.4 173-182 (10 pages)

Yun. Suk-Min, Lee. Jin-Hwan 저

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369.

3D Scaffold with PCL Combined Biomedical Ceramic Materials for Bone Tissue Regeneration

Chern. Ming-Jyh, Yang. Liang-Yo, Shen. Yung-Kang, Hung. Jia-Hsiang 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 7 Pages

한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2013, Vol.14 No.12 2201-2207 (7 pages)

Chern. Ming-Jyh, Yang. Liang-Yo, Shen. Yung-Kang, Hung. Jia-Hsiang 저

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370.

Selective Laser Sintering of a Hydroxyapatite-silica Scaffold on Cultured MG63 Osteoblasts in Vitro

Liu. Fwu-Hsing, Shen. Yung-Kang, Lee. Jeou-Long 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 6 Pages

한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2012, Vol.13 No.3 439-444 (6 pages)

Liu. Fwu-Hsing, Shen. Yung-Kang, Lee. Jeou-Long 저

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