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오존공정을 이용한 고효율 PR 제거기술 연구
손영수, Son. Young-Su 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 6 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2007, Vol.44 No.1 22-27 (6 pages)
반도체 또는 평판디스플레이 제조에 있어 노광공정 후의 PR(photoresist) 제거 공정으로 이용하기 위하여 경계 막 제어에 의한 오존처리공정 및 설비 구현에 대한 연구를 수행하였다. 개발한 초 고농도 오존생성기술과 vapor 발생 방식 경계 막 제어 오존처리공정설비에 의해 실리콘 웨이퍼 PR 제거시험을 수행하였으며 오존가스농도 16wt%, 오존가스 유량 $8[ell/min]$에서 약 400nm/분의 높은 PR 제거율을 달성하였다. -
간편 간접추론 퍼지논리 경계층을 갖는 슬라이딩 모드 제어기의 설계
채창현 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SC, 시스템 및 제어 8 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SC, 시스템 및 제어 2004, Vol.41 No.2 45-52 (8 pages)
본 논문에서는 슬라이딩 라인 함수의 각 요소를 간편 간접추론 퍼지 논리의 입력변수로 사용하여 슬라이딩 모드 제어기의 경계층을 모사하는 간편 간접추론 퍼지논리 경계층을 갖는 슬라이딩 모드 제어기를 설계하였다. 제안된 제어시스템은 별도의 비선형 함수를 구할 필요가 없으며, 네 개의 퍼지규칙으로 이루어지므로 간단하고 안정도 증명이 쉬운 장점을 가진다. 본 논문의 유효성을 비선형 시변 시스템에 적용하여 고찰하였다. -
산악 계곡지형에서의 오염확산에 관한 연구(I) :풍동실험
유성연, 심우섭, 김석철, Yoo. Seong-Yeon, Shim. Woo-Sup, Kim. Seogcheol 대한설비공학회 설비공학논문집 10 Pages
대한설비공학회 설비공학논문집 2005, Vol.17 No.11 1050-1059 (10 pages)
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2차원 $90^{circ}$ 곡관에서 균일전단류의 특성에 대한 실험적 연구 (1) -평균유동장-
임효재, 성형진, 정명균 대한기계학회 大韓機械學會論文集 12 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集 1995, Vol.19 No.3 834-845 (12 pages)
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막응축 열전달에서 공기-수증기 혼합기체의 속도 및 온도분포
강희찬, 김무환 대한기계학회 大韓機械學會論文集 11 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集 1994, Vol.18 No.10 2675-2685 (11 pages)
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직사각형 내부에서의 2차원 스핀업
서용권, Suh. Yong-Kweon 대한기계학회 大韓機械學會論文集 8 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集 1993, Vol.17 No.7 1805-1812 (8 pages)
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잘 해결될 수 있다. 또한 마이크로폴라 탄성이론은 고체 내에서의 파의 전파(propagation)와 분산(dispersion), 구멍 주위의 응력집중과 외부 하중을 받는 물체에 있어 균열끝에서의 응력 분포 등의 고체역학 문제들은 물론이고, 경계층(boundary layer), 난 류(turbulence), 유체 유동의 불안정(instability)과 표면장력 현상 등의 유체역학에서의 복잡한 문제들을 해결하는 데에도 이용할 수 있다. 마이크로폴라 탄성이론은 고전 탄성이론에 비해 상 대적으로 새롭고 미개척 분야이긴 하지만 이론의 기반이 확고하기 때문에 앞으로의...
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Comparing the osteogenic potential of canine mesenchymal stem cells derived from adipose tissues, bone marrow, umbilical cord blood, and Wharton's jelly for treating bone defects
Byung-Jae Kang, Hak-Hyun Ryu, Sung Su Park, Yoshihisa Koyama, Masanori Kikuchi, Heung-Myong Woo, Wan Hee Kim, Oh-Kyeong Kweon* 대한수의학회 Journal of Veterinary Science 12 Pages
대한수의학회 Journal of Veterinary Science 2012, 제 13권 제 3호 12 299-310 (12 pages)
Alternative sources of mesenchymal stem cells (MSCs) for replacing bone marrow (BM) have been extensively investigated in the field of bone tissue engineering. The purpose of this study was to compare the osteogenic potential of canine MSCs derived from adipose tissue (AT), BM, umbilical cord blood (UCB), and Wharton's jelly (WJ) using in vitro culture techniques and in vivo orthotopic implantation assays. After canine MSCs were isolated from various tissues, the proliferation and osteogenic...
