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RF Magnetron Sputtering에 의한 금속간화합물 TiAI 모재위의 AI-21Ti-23Cr 고온내산화코팅
박상욱, 박정용, 이호년, 오명훈, 위당문, Park. Sang-Uk, Park. Jeong-Yong, Lee. Ho-Nyeon, O. Myeong-Hun, Wi. Dang-Mun 한국재료학회 한국재료학회지 10 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.7 742-751 (10 pages)
Ti-48AI(at.%) 모재위에 RF magnetron sputtering을 이용하여 AI-21Ti-23Cr(at.%) 조성의 박막을 코팅하였다. RF power 200W, 증착압력 0.8Pa, 증착온도 573k에서 증착된 시편의 가장 우수한 고온재산화성을 나타내었다. 573K에서 증착된 AI-21Ti-23Cr 코팅층은 증착시에는 비정질을 형성하나 산화시험동안 결정화가 진행되며, 표면에는 치밀한 ${Al}_{2}{O}_{3}$층이 형성되었다. 573K에서 코팅된 시편에 대하여 1073K, 1173K 및 1273K에서 100시간동안 등온산화시험을 실시하였다. 무게증량곡선은 모든 온도에서 parabolic law를 따르는... -
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
이종화, 이원종 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 7 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 1993, Vol.3 No.2 87-93 (7 pages)
질화철(Fe-N) 박막을 DC magenetron sputtering 방법으로 증착하였다. 스퍼터링 기체중의 질소유량비와 스퍼터링 power가 박막의 구조와 조성, 자기적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 증착 박막중의 질소원자 함유량은 박막의 구조, 생성상 및 자기적 특성을 결정짓는 지배적인 인자이다. 낮 은 질소 유량비에서 증착하였을 경우 박막은 질소 침입형 $alpha$-Fe 결정구조를 갖으며, 질소원자 함유량에 비례하여 격자변형은 증가하고 포화자화값은 감소하였다. 격자변형이 어느 정도 심하게 일어 나면 주상정으로의 성장이 억제되어... -
Microstructures of HAp and HAp-Ag Composite Coating Layer Prepared by RS Magnetron Sputtering
Lee. Hee-Jung, Oh. Ik-Hyun, Park. Sang-Shik, Lee. Byong-Taek 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.4 328-333 (6 pages)
RF magnetron sputtering법에 의해 단상의 하이드록시아파타이트와 하이드록시아파타이트은 복합코팅층을 ZrO$_2$와 Si 웨이퍼 기판에 코팅하였다. 이들 코팅층들의 두께 0.7∼1.0$mu extrm{m}$ 범위였으며 또한 거칠기(roughness)는 3∼4nm였다. 열처리된 HAp 코팅층은 나노크기의 결정들로 구성되어 있었으며, 반면 Ag가 함유된 복합코팅층의 경우 결정질과 비결정질이 혼재되어 있었다. 열처리 전 HAp 코팅층의 Ca/P비는 1.9였고, Ag의 함량이 증가함에 따라 비는 감소하는 경향을 나타내었다. 또한 Ag 함량이 증가함에 따라... -
R.F. Magnetron Sputtering을 이용한 리튬이차전지 부극용 Sn1-xSixO2의 제조 및 특성
이상헌, 박건태, 손영국, Lee. Sang-Heon, Park. Keun-Tae, Son. Young-Guk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.4 394-400 (7 pages)
리튬 이차전지용 부극재료로 미량의 실리콘이 첨가된 주석산화물 박막을 R.F. magnetron sputtering법을 이용하여 제조하였다. 실리콘의 첨가로 인해 주석의 산화상태를 감소시켜서 첫 번째 충방전 동안 비가역성을 감소시키는 전기 화학적 결과를 얻을 수 있었다. 주석 산화물 박막의 결정 배향성은 기판온도가 올라감에 따라서 (110),(101),(211) 면들이 성장하였다. 합성된 박막은 기판온도가 $300^{circ}C$이고 $Ar:O_2$의 비가 7:3일때, 700mAh/g의 에너지 밀도를 가지며 가장 좋은 가역성능을 보여주었다. -
RF Magnetron sputtering을 이용한 ${Ce_{1-x}}{RE_x}{O_{2-y}}$ 박막성장
주성민, 김철진, 박병규 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.10 1014-1020 (7 pages)
RF 마크네트론 스퍼터법으로 Ce의 일부를 희토류 원소로 치환한 Ce$_{1-x}$RE$_{x}$O$_{2-y}$(0.1$leq$x$leq$0.4, RE=Y, Nd) 박막을 Si(111), $Al_2$O$_3$(1012) 기판 위에 1450~1$600^{circ}C$로 소결한 target을 이용하여 성장시켰다. Ce$_{1-x}$RE$_{x}$O$_{2-y}$ 박막의 성장시 기판온도 및 증착시간 등을 변화시켜 성장시켰으며, 성장된 박막의 특성분석은 XRD, SEM, TEM으로 행하였다. 증착된 박막의 방향성 및 결정성장 거동은 증착온도 및 시간에 따라 차이를 보였다. Si(111) 기판 위에 증착된... -
D.C Magnetron Reactive Sputtering 법으로 증착한 <tex>$PbTiO_3$</tex> 박막의 열처리에 따른 c-축 배향성의 변화
이승현, 권순용, 최한메, 최시경 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1996, Vol.33 No.7 802-808 (7 pages)
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Rf Magnetron Sputtering 방법으로 제조된 $Ba_{1-x}Sr_xTiO_3$ 박막의 구조적 특성에 대한 연구
김태송, 오명환, 김종희 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1993, Vol.30 No.6 441-448 (8 pages)
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RF Magnetron Sputtering에 의해 증착된 Ni-Zn-Cu Ferrite 박막의 물성에 미치는 기판온도의 영향
공선식, 조해석, 김형준, 김경용 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1992, Vol.29 No.5 383-390 (8 pages)