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Co/Ti/Si 계에서 고상반응에 의한 Cobalt Silicide 형성기구 고찰
이승헌, 배준철, 신동원, 박찬경, Lee. Seung-Heon, Bae. Jun-Cheol, Sin. Dong-Won, Park. Chan-Gyeong 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.8 808-816 (9 pages)
(100) Si 기판위에 전자 빔 증착법을 이용하여$ 90AA$두께의 Ti과 $120AA$두께의 Co를 순차적으로 증착시켰다. 그 후 질소분위기하의 $350-900^{circ}C$온도구간에서 급속열처리함으로써 (100) Si 기판위의 Co/Ti 이중 박막의 실리사이드화 반응이 일어나게 했으며 이를 XRD, AES, TEM을 이용하여 분석하였다. $500^{circ}C$이하의 온도에서는 Co원자들이 Ti층쪽으로 빠르게 확산하여 Si와 반응하기 이전에 Ti원자들과 상호 혼합되어 어떠한 실리사이드도 형성되지 않았다. $500^{circ}C$에서 열처리된 시편의 고분해능전자현미경 영상을... -
Synthesize multi-walled carbon nanotubes via catalytic chemical vapour deposition method on Fe-Ni bimetallic catalyst supported on kaolin
Aliyu A, Abdulkareem AS, Kovo AS, Abubakre OK, Tijani JO, Kariim I 한국탄소학회 Carbon Letters 18 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2017, Vol.21 5 33-50 (18 pages)
In this study, Fe-Ni bimetallic catalyst supported on kaolin is prepared by a wet impregnation method. The effects of mass of kaolin support, pre-calcination time, pre-calcination temperature and stirring speed on catalyst yields are examined. Then, the optimal supported Fe-Ni catalyst is utilised to produce multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) using catalytic chemical vapour deposition (CCVD) method. The catalysts and MWCNTs prepared using the optimal conditions are characterized using high...
