주제분류
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- 기타(425)
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- 자연과학(304)
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- 유아교육학(30)
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- 공학(4)
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등재정보
- KCI(1,674)
- 미분류(629)
- KCI,SCOPUS(199)
- KCI,SCIE,SCOPUS(160)
- KCI후보(24)
- KCI,KCI후보(1)
- KCI,SCIE,SSCI,SCOPUS(1)
발행기관
- 대한신경정신의학회(480)
- 대한생리학회-대한약리학회(262)
- 대한수의학회(259)
- 한국식물병리학회(211)
- 우리말학회(195)
- 한국청각언어재활학회(77)
- 한국습지학회(49)
- 한국탄소학회(44)
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- 한국노인간호학회(35)
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- 대한생리학회(33)
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- 한국진공학회(25)
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- 대한화학회(20)
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- 한국교육학회(18)
- 한국성인교육학회(18)
- 한방비만학회(18)
- 인문사회과학기술융합학회(17)
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- 한국세라믹학회(17)
- 경인교육대학교 교육연구원(16)
- 대한치과이식임플란트학회(16)
- 아시아장애사회학회(15)
- 은행법학회(15)
- 한국장애인복지학회(15)
- 물리치료재활과학회(14)
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- 한국전기산업진흥회(13)
- 한국교육행정학회(12)
- 한국미술치료학회(12)
- 대한핵의학회(11)
- 한국광학회(11)
- 한국기업교육학회(11)
- 한국인간발달학회(11)
- 이화여자대학교 교과교육연구소(10)
- 한국재료학회(10)
- 한국조형교육학회(10)
- 대한구순구개열학회(9)
- 대한자기공명의과학회(9)
- 한국경호경비학회(9)
- 한국아동권리학회(9)
- 한국의학물리학회(9)
- 한국자기학회(9)
- 대한핵의학기술학회(8)
- 한국결정성장학회(8)
- 한국보훈학회(8)
- 한국원자력산업회의(8)
- 한국종교교육학회(8)
- 대한방사선치료학회(7)
- 대한영상의학회(7)
- 아시아아동지원학회(7)
- 한국광고PR실학회(7)
- 한국교육사회학회(7)
- 한국동서정신과학회(7)
- 한국보육지원학회(7)
- 한국식품영양과학회(7)
- 한국음악치료학회(7)
- 한국중국문화학회(7)
- 대한치과교정학회(6)
- 한국가족치료학회(6)
- 한국원자력학회(6)
- 한국음악교육학회(6)
- 21세기사회복지학회(5)
- 대한방사선방어학회(5)
- 동국역사문화연구소(5)
- 한국교원대학교 유아교육연구소(5)
- 한국교육방법학회(5)
- 한국보건기초의학회(5)
- 한국사회복지교육협의회(5)
- 한국통합교육학회(5)
- 한국환경농학회(5)
- 환태평양유아교육연구학회(5)
- 고령자치매작업치료학회(4)
- 대한기계학회(4)
- 대한방사선과학회(4)
- 대한신경계작업치료학회(4)
- 대한음악치료학회(4)
- 동아시아문화학회(4)
- 서강대학교 철학연구소(4)
- 한국교원교육학회(4)
- 한국방사선학회(4)
- 한국시각장애교육재활학회(4)
- 한국어린이미디어학회(4)
- 한국열환경공학회(4)
- 한국일본교육학회(4)
- 한국작물학회(4)
- 한국정보과학회(4)
- 한국토양비료학회(4)
- 한국학습장애학회(4)
- 공주교육대학교 초등교육연구원(3)
- 대한수학회(3)
- 대한자원환경지질학회(3)
- 한국가금학회(3)
- 한국대학박물관협회(3)
- 한국발달지원학회(3)
- 한국방위산업진흥회(3)
- 한국불교상담학회(3)
- 한국식품영양학회(3)
- 한국에너지공학회(3)
- 한국여가문화학회(3)
- 한국웰니스학회(3)
- 한국정보처리학회(3)
- 한국초등체육학회(3)
- 한국카운슬러협회(3)
- 고려인삼학회(2)
- 대한고령친화산업학회(2)
- 대한흉부외과학회(2)
- 부산대학교 교육발전연구소(2)
- 아시아태평양암예방학회(2)
- 에너지기후변화교육학회(2)
- 정보저장시스템학회(2)
- 한국고고학회(2)
- 한국교육정치학회(2)
- 한국교육치료학회(2)
- 한국균학회(2)
- 한국독어학회(2)
- 한국동물자원과학회(2)
- 한국박물관교육학회(2)
- 한국발명진흥회(2)
- 한국복지행정학회(2)
- 한국사회서비스학회(2)
- 한국센서학회(2)
- 한국수산과학회(2)
- 한국수자원학회(2)
- 한국수정란이식학회(2)
- 한국아동심리치료학회(2)
- 한국약용작물학회(2)
- 한국약제학회(2)
- 한국응용생명화학회(2)
- 한국인터넷방송통신학회(2)
- 한국전자정보통신산업진흥회(2)
- 한국전자통신연구원(2)
- 한국지구과학회(2)
- 한국창의력교육학회(2)
- 한국추진공학회(2)
- 한국특수교육교과교육학회(2)
- 한국푸드아트테라피학회(2)
- 한국해양정보통신학회(2)
- 한국현미경학회(2)
- (사)한국포장협회(1)
- 개혁주의교회성장학회(1)
- 과학기술정책연구원(STEPI)(1)
- 대외경제정책연구원(1)
- 대한간호협회(1)
- 대한결핵및호흡기학회(1)
- 대한구강악안면방사선학회(1)
- 대한기본간호학회(1)
- 대한디지털의료영상학회(1)
- 대한물리의학회(1)
- 대한물리치료학회(1)
- 대한방사선종양학회(1)
- 대한소아신장학회(1)
- 대한약침학회(1)
- 대한약학회(1)
- 대한예방한의학회(1)
- 디지털스토리텔링학회(1)
- 배재대학교 자연과학연구소(1)
- 복지대학교 장애인능력개발원(1)
- 생화학분자생물학회(1)
- 영성과 보건복지학회(1)
- 인지발달중재학회(1)
- 제어로봇시스템학회(1)
- 지역사회간호학회(1)
- 통신위성우주산업연구회(1)
- 학습전략중재학회(1)
- 한국게임학회(1)
- 한국결정학회(1)
- 한국고무학회(1)
- 한국고분자학회(1)
- 한국골판지포장공업협동조합(1)
- 한국공작기계학회(1)
- 한국공정경쟁연합회(1)
- 한국광물학회(1)
- 한국광산업진흥회(1)
- 한국교류분석상담학회(1)
- 한국교원대학교 뇌기반교육연구소(1)
- 한국교육개발원(1)
- 한국교육원리학회(1)
- 한국국제이해교육학회(1)
- 한국군사과학기술학회(1)
- 한국군사회복지학회(1)
- 한국농촌간호학회(1)
- 한국데이타베이스학회(1)
- 한국데이터베이스진흥원(1)
- 한국동물번식학회(1)
- 한국동물분류학회(1)
- 한국명상학회(1)
- 한국목재공학회(1)
- 한국무용동작심리치료학회(1)
- 한국문화예술교육학회(1)
- 한국미생물생명공학회(1)
- 한국미생물학회(1)
- 한국복지상담학회(1)
- 한국부모교육학회(1)
- 한국사회복지지원학회(1)
- 한국생리인류과학회(1)
- 한국생명과학회(1)
- 한국생물공학회(1)
- 한국생물환경조절학회(1)
- 한국생산제조시스템학회(1)
- 한국섬유공학회(1)
- 한국수산경영학회(1)
- 한국수산학회(1)
- 한국식품과학회(1)
- 한국식품위생안전성학회(1)
- 한국식품저장유통학회(1)
- 한국식품조리과학회(1)
- 한국안광학회(1)
- 한국열병합발전협회(1)
- 한국예술심리치료학회(1)
- 한국유기농업학회(1)
- 한국유변학회(1)
- 한국융합보안학회(1)
- 한국음악교육공학회(1)
- 한국인터넷정보학회(1)
- 한국임상수의학회(1)
- 한국장애인평생교육복지학회(1)
- 한국전기전자학회(1)
- 한국전기화학회(1)
- 한국정밀공학회(1)
- 한국정보통신집흥협회(1)
- 한국정보통신학회(1)
- 한국조명전기설비학회(1)
- 한국주조공학회(1)
- 한국천문학회(1)
- 한국초지조사료학회(1)
- 한국축산시설환경학회(1)
- 한국콘텐츠학회(1)
- 한국태양에너지학회(1)
- 한국통계학회(1)
- 한국항공우주법학회(1)
- 한국항공우주산업진흥협회(1)
- 한국항공우주학회(1)
- 한국핵심역량교육학회(1)
- 한국행동분석학회(1)
- 한국헬스커뮤니케이션학회(1)
- 한국화학공학회(1)
간행물
- 신경정신의학(479)
- THE KOREAN JOURNAL OF PHYSIOLOGY & PHARMACOLOGY(262)
- 우리말연구(195)
- THE PLANT PATHOLOGY JOURNAL (178)
- JOURNAL OF VETERINARY SCIENCE(154)
- AUDIOLOGY AND SPEECH RESEARCH(77)
- KOREAN JOURNAL OF VETERINARY RESEARCH(구 대한수의학회지)(63)
- 한국습지학회지(49)
- CARBON LETTERS(44)
- 대한수의학회 학술대회발표집(42)
- 노인간호학회지(35)
- 대한약리학잡지(35)
- 대한생리학회지(33)
- 식물병연구(33)
- JOURNAL OF KOREAN BIOLOGICAL NURSING SCIENCE(29)
- KOREAN JOURNAL OF MEDICAL EDUCATION(24)
- 한국진공학회지(22)
- 박물관학보(19)
- 전기전자재료학회논문지(19)
- 대한한방비만학회지(18)
- 구비문학연구(17)
- 예술인문사회융합멀티미디어논문지(17)
- BULLETIN OF THE KOREAN CHEMICAL SOCIETY(16)
- JOURNAL OF DENTAL IMPLANT RESEARCH(16)
- 교육논총(16)
- 교육학연구(16)
- ANDRAGOGY TODAY(15)
- 아시아장애사회학연구(15)
- 은행법연구(15)
- 한국장애인복지학(15)
- PHYSICAL THERAPY REHABILITATION SCIENCE(14)
- 교육행정학연구(12)
- 미술치료연구(12)
- 인간발달연구(11)
- 한국광학회지(11)
- 교과교육학연구(10)
- 조형교육(10)
- 기업교육과 인재연구(9)
- 대한구순구개열학회지(9)
- 대한자기공명의과학회지(9)
- 시큐리티연구(9)
- 아동과 권리(9)
- 의학물리(9)
- 전기전자재료학회지= THE JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONIC MATERIAL ENGINEERS(9)
- 한국세라믹학회지(9)
- 한국자기학회지(9)
- 원자력산업(8)
- 종교교육학연구(8)
- 한국결정성장학회지(8)
- 한국보훈논총(8)
- 한국재료학회지(8)
- 핵의학기술(8)
- NEWSLETTER 전기공업(7)
- 광고PR실학연구(7)
- 대한방사선의학회지(7)
- 대한핵의학회지(7)
- 동서정신과학(7)
- 아시아아동지원연구(7)
- 요업학회지(7)
- 중국학논총(7)
- 한국보육지원학회지(7)
- 한국음악치료학회지(7)
- JOURNAL OF THE KOREAN NUCLEAR SOCIETY(6)
- THE KOREAN JOURNAL OF ORTHODONTICS(6)
- TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC MATERIALS(6)
- 가족과 가족치료(6)
- 음악교육연구(6)
- 전기공업(6)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS ENGINEERS OF KOREA. SD, 반도체(6)
- 21세기사회복지연구(5)
- ASIA-PACIFIC JOURNAL OF RESEARCH IN EARLY CHILDHOOD EDUCATION(5)
- 교육방법연구(5)
- 대한방사선치료학회지(5)
- 동국사학(5)
- 방사선방어학회지(5)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. C/ C, 전기물성-응용부문(5)
- 전기학회지= THE PROCESSING OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(5)
- 통합교육연구(5)
- 한국보건기초의학회지(5)
- 한국사회복지교육(5)
- 한국영양식량학회지(5)
- 한국유아교육연구(5)
- 한국환경농학회지(5)
- KOREAN JOURNAL FOR MUSIC THERAPY(4)
- 고령자-치매작업치료학회지(4)
- 교육사회학연구(4)
- 대한화학회지(4)
- 동아시아문화와예술(4)
- 시각장애연구(4)
- 어린이미디어연구(4)
- 재활치료과학(4)
- 전자공학회지(4)
- 철학논집(4)
- 학습장애연구(4)
- 한국방사선학회 논문지(4)
- 한국토양비료학회지(4)
- 핵의학 분자영상(4)
- THE JOURNAL OF EDUCATION(3)
- 국방과 기술(3)
- 발달지원연구(3)
- 방사선기술과학(3)
- 불교상담학연구(3)
- 에너지공학(3)
- 여가학연구(3)
- 열환경공학(3)
- 자원환경지질(3)
- 한국교원교육연구(3)
- 한국교육사회학회 학술대회자료집(3)
- 한국성인교육학회 학술대회지(3)
- 한국식품영양학회지(3)
- 한국웰니스학회지(3)
- 한국일본교육학연구(3)
- 한국초등체육학회지(3)
- ASIAN PACIFIC JOURNAL OF CANCER PREVENTION : APJCP(2)
- FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF ADVANCED MATERIALS(2)
- JOURNAL OF CROP SCIENCE AND BIOTECHNOLOGY(2)
- JOURNAL OF GINSENG RESEARCH(2)
- JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE(2)
- THE JOURNAL OF KOREAN VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY(2)
- 가금학회지(2)
- 고문화(2)
- 교육치료연구(2)
- 교육혁신연구(2)
- 대한고령친화산업학회지(2)
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. A. A(2)
- 대한방사선치료기술학회지(2)
- 대한흉부외과학회지(2)
- 독어학(2)
- 박물관교육연구(2)
- 복지행정논총(2)
- 사회서비스연구(2)
- 상담과지도(2)
- 센서학회지(2)
- 약제학회지(2)
- 에너지기후변화교육(2)
- 전자진흥= JOURNAL OF KOREAN ELECTRONICS(2)
- 정보저장시스템학회논문집(2)
- 정보처리학회논문지. THE KIPS TRANSACTIONS. PART B. PART B(2)
- 창의력교육연구(2)
- 특수교육교과교육연구(2)
- 푸드아트테라피(2)
- 한국교육학회 학술대회논문집(2)
- 한국균학회지(2)
- 한국동물자원과학회지(2)
- 한국수정란이식학회지(2)
- 한국아동심리치료학회지(2)
- 한국약용작물학회지(2)
- 한국인터넷방송통신학회 논문지(2)
- 한국지구과학회지(2)
- 한국추진공학회지(2)
- 한국해양정보통신학회논문지(2)
- 한국현미경학회지(2)
- APPLIED SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY(1)
- BIOTECHNOLOGY AND BIOPROCESS ENGINEERING(1)
- BRAIN, DIGITAL, & LEARNING(1)
- BULLETIN OF THE KOREAN MATHEMATICAL SOCIETY(1)
- COMMUNICATIONS OF THE KOREAN MATHEMATICAL SOCIETY(1)
- ETRI JOURNAL(1)
- FIBERS AND POLYMERS(1)
- IEIE TRANSACTIONS ON SMART PROCESSING AND COMPUTING(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF CONTROL, AUTOMATION AND SYSTEMS(1)
- JOURNAL OF BIOCHEMISTRY AND MOLECULAR BIOLOGY(1)
- JOURNAL OF COMPUTING SCIENCE AND ENGINEERING(1)
- JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING AND INFORMATION SCIENCE(1)
- JOURNAL OF INFORMATION TECHNOLOGY APPLICATIONS & MANAGEMENT(1)
- JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF MEDICINAL FOOD(1)
- JOURNAL OF THE KOREAN MATHEMATICAL SOCIETY(1)
- JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY FOR APPLIED BIOLOGICAL CHEMISTRY(1)
- JOURNAL OF VETERINARY CLINICS(1)
- KIEE INTERNATIONAL TRANSACTIONS ON ELECTROPHYSICS AND APPLICATIONS(1)
- KIEP 연구보고서(1)
- KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(1)
- KOREAN JOURNAL OF CROP SCIENCE(1)
- KOREAN JOURNAL OF SYSTEMATIC ZOOLOGY(1)
- KSII TRANSACTIONS ON INTERNET AND INFORMATION SYSTEMS : TIIS(1)
- PSYCHIATRY INVESTIGATION(1)
- REPRODUCTIVE & DEVELOPMENTAL BIOLOGY(1)
- THE KOREAN JOURNAL OF CERAMICS(1)
- 개혁주의교회성장(1)
- 결핵 및 호흡기 질환(1)
- 경쟁저널(1)
- 골판지포장,물류(1)
- 광산업정보(1)
- 교류분석상담연구(1)
- 교육원리연구(1)
- 교육정치학연구(1)
- 국제이해교육연구(1)
- 기계저널 : 대한기계학회지(1)
- 기본간호학회지(1)
- 대한간호(1)
- 대한디지털의료영상기술학회지(1)
- 대한물리의학회지(1)
- 대한물리치료학회지(1)
- 대한방사선기술학회지(1)
- 대한방사선종양학회지(1)
- 대한소아신장학회지(1)
- 대한약침학회지(1)
- 대한예방한의학회지= KOREAN JOURNAL OF ORIENTAL PREVENTIVE MEDICAL SOCIETY(1)
- 디지털스토리텔링연구(1)
- 디지털콘텐츠(1)
- 모드니예술(1)
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- 부모교육연구(1)
- 사회복지지원학회지(1)
- 산업미생물학회지(1)
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- 생명과학회지(1)
- 생물환경조절학회지(1)
- 수산경영논집(1)
- 약학회지(1)
- 엘라스토머(1)
- 열병합발전(1)
- 영성과 보건복지(1)
- 예술심리치료연구(1)
- 유변학(1)
- 융합보안논문지(1)
- 음악교육공학(1)
- 응용통계연구(1)
- 인지발달중재학회지(1)
- 자연 과학 논문집 : 배재대학 첨단과학연구소(1)
- 장애인고등교육연구(1)
- 장애인평생교육복지연구(1)
- 전기전자학회논문지(1)
- 전기학회논문지(1)
- 전기화학회지(1)
- 전자공학회논문지(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS ENGINEERS OF KOREA. CI, 컴퓨터(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS ENGINEERS OF KOREA. TE, 전문기술교육(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF TELEMATICS AND ELECTRONICS S. S(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF TELEMATICS AND ELECTRONICS. D(1)
- 전자통신(1)
- 정보과학회논문지. JOURNAL OF KIISE. 소프트웨어 및 응용(1)
- 정보과학회논문지. JOURNAL OF KIISE. 시스템 및 이론(1)
- 정보처리논문지(1)
- 정보화사회(1)
- 정책연구(1)
- 조명-전기설비학회지(1)
- 지역사회간호학회지(1)
- 천문학회보(1)
- 축산시설환경학회지(1)
- 치과방사선(1)
- 태양에너지(1)
- 통신위성우주산업연구회논문지(1)
- 특협(1)
- 포장계(1)
- 폴리머(1)
- 학교상담전문가 자격연수(1)
- 학습전략중재연구(1)
- 한국HRD연합회 연합학술대회지(1)
- 한국가금학회지(1)
- 한국게임학회 논문지(1)
- 한국결정학회지(1)
- 한국고고학보(1)
- 한국고고학전국대회 발표문(1)
- 한국공작기계학회논문집(1)
- 한국광물학회지(1)
- 한국교원교육학회 학술대회자료집(1)
- 한국교육개발원 연구보고서(1)
- 한국교육정치학회 학술대회지(1)
- 한국군사과학기술학회지(1)
- 한국군사회복지학(1)
- 한국기업교육학회 학술대회(1)
- 한국농촌간호학회지(1)
- 한국농화학회지(1)
- 한국대학박물관협회 학술대회지(1)
- 한국명상학회지(1)
- 한국생산제조시스템학회지(1)
- 한국수산학회지(1)
- 한국수산학회지: BULLETIN OF THE KOREAN FISHERIES SOCIETY(1)
- 한국수자원학회논문집(1)
- 한국수자원학회지(1)
- 한국식품과학회지(1)
- 한국식품영양과학회지(1)
- 한국식품위생안전성학회지(1)
- 한국식품저장유통학회지(1)
- 한국안광학회지(1)
- 한국양식학회지(1)
- 한국열환경공학회 학술대회지(1)
- 한국유기농업학회지(1)
- 한국일본교육학회 학술대회(1)
- 한국작물학회지(1)
- 한국정밀공학회지(1)
- 한국정보통신학회논문지(1)
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GE lantern 고급화를 위한 포장디자인 연구
(사)한국포장협회 包裝界 2004, Vol.131 No.3 154-158 (5 pages)
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SPE법을 통해 형성된 $Ge_xSi_{1-x}/Si$이종접합 화합물 반도체의 결정분석
안병열, 서정훈 한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 7 Pages
한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2000, Vol.4 No.3 713-719 (7 pages)
증착시켜 a-Ge/Au/Si(111)구조를 형성하고 이를 고진공 조건에서 이단계 열처리 하였다. 열처리 후 Auger 전자분광분석(AES), X-ray 회절(XRD), 고분해 투과전자현미경(HRTEM) 등을 통해 Au와 Ge의 거동과 형성된 $Ge_xSi_{1-x}$막의 특성을 열처리 조건에 따라 분석하였다. a-Ge/Au/Si(111)구조는 열처리에 의해 Au/GeSi/Si(111)의 구조로 변했으며 형성된$Ge_xSi_{1-x}/$((111)층은 Si(111) 기판의 면 방향과 잘 일치하였다. 그러나 $Ge_xSi_{1-x}/Si$((111)층 내부에 적층결함, 전이, 쌍정, planar defect 등이 주로 (111)면 방향으로... -
$Li/Ge(111)-3 imes1$ 표면의 Core-level 스펙트럼에 대한 분석 연구
조혜진, 김영훈, 이근섭, Cho. Hye-Jin, Kim. Yeong-Hoon, Lee. Geun-Seop 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.1 31-36 (6 pages)
Curve fitting을 통하여 스펙트럼에서 bulk Ge 3d peak에 해당하는 peak의 양쪽에 각각 하나씩의 표면 성분이 있음을 확인하였다. $Li/Ge(111)-3 imes1$ 표면의 core-level spectrum에서의 두 표면 peak의 존재와 그 위치는 같은 금속에 의해 유도된 $Si/Ge(111)-3 imes1$의 경우와 유사하며, 이는 두 표면의 구조fl서의 유사성을 시사한다. $Li/Ge(111)-3 imes1$ 표면의 core-level 광전자 스펙트럼에서 보이는 두 개의 표면 성분의 존재와 위치는 알칼리 금속으로부터 유도되는 $Si/Ge(111)-3 imes1$의 구조 모형으로 제안된 honeycomb-chain... -
이종접합 쌍극자 트랜지스터(HBT)의 에미터 접촉층으로 사용되는 InGaAs에 대한 Pd/Ge/Ti/Pt의 오믹 접촉 특성
김일호, 장경욱, 박성호(주)가인테크 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.2 219-224 (6 pages)
조사하였다. $450^{circ}C$까지의 급속 열처리에 의해 우수한 오믹 특성을 나타내어 $400^{circ}C$, 10초의 급속 열처리 조건에서 최저 $3.7 imes10^{-6}; Omega extrm{cm}^2$ 의 접촉 비저항을 나타내었다. 이는 열처리에 의해 생성된 Pd-Ge계 화합물의 형성 및 Ge의 InGaAs 표면으로의 확산과 관련이 있었다. 그러나 열처리 시간을 연장할 경우 접촉 비저항이 $low-10^5; Omega extrm{cm}^2$로 약간 증가하였다. 고온 열처리 후에도 오믹 재료와 InGaAs의 평활한 계면을 유지하면서 우수한 오믹 특성을 나타내어, 화합물 반도체 소자의... -
Poly $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 산화 거동 연구
강성관, 고대홍, 오상호, 박찬경, 이기철, 양두영, 안태항, 주문식 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2000, Vol.9 No.4 346-352 (7 pages)
TEM으로 분석하였다. Poly $Si_{0.8}Ge_{0.15}$박막의 경우, $GeO_2$에 비해 열적으로 안정한 $SiO_2$가 우선 생성되고, 반응에 참여하지 못한 Ge은 산화막과 poly $Si_{1-x}Ge_{x}$박막의 계면에 축적되어 산화막 하부의 Ge농도가 증가함을 확인하였다. Poly $Si_{0.8}Ge_{0.42}$ 박막의 경우, 산화막내에 많은 양의 Ge이 $GeO_2$와 Ge 형태로 존재하였고, 이러한 $GeO_2$의 형성으로 인해 산화속도의 증가를 확인하였다. 이러한 분석 결과를 바탕으로 Ge 함량 증가에 따른 poly $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 산화 모델을 제시하였다. -
$Si_2H_6$ 와 $GeH_4 $가스를 이용한 LPCVD $Si_{1-x}Ge_x$ 합금 박막의 제작
김진원, 류명관, 김기범, 김상주 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1995, Vol.4 178-184 (7 pages)
공정압력은 0.5-1Torr 였다. 박막내의 Ge 함량은 온도 및 증착가스의 유량이 일정하면 공정압력이 증가함에 따라 증가하였고, 공정압력 및 증착가스의 유량이 일정하면 증착온도에 관계없이 일정하였다. 일정한 Si2H6가스의 표면반응은 박막내의 Ge 원자에 의해 촉진됨을 알 수 있었다. 조성이 일정한 Si1-xGex 박막의 증착속도는 증착온도 증가에 따라 Arrhenius 형태로 증가하여, Si, Si0.84Ge0.16,Si0.69Ge0.31박막증착의 활성화에너지는 각각 1.5, 1.13, 1 eV로서 박막내의 Ge함량이 증가함에 따라 활성화 에너지는 감소하였다. -
직접천이 띠간격을 갖는 $Ge_{1-x}$$Sn_x$/$Ge_{1-y}$$Sn_y$(001)의 전기적 특성 연구
박일수, 전상국 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2000, Vol.13 No.12 989-995 (7 pages)
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핫플래이트 소결에 의한 (n)GaAs에 Au-Pd-Ge계의 음성접촉 특성에 관한 연구
박창엽, 남춘우, 소지영 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 10 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1988, Vol.1 No.3 251-260 (10 pages)
Au-Pd-Ge계의 비접촉저항은 alloying된 Au/Pd/Ge 접촉의 그것에 필적할 만큼 낮았으며 특히 Au/Ge/Pd 접촉은 430.deg.C, 3분의 sintering 조건에서 가장 낮은 1.2*$10^{-6}$.OMEGA..$cm^{2}$의 비접촉저항을 나타냈다. Au/Ge/Pd 접촉의 표면형상 및 접촉패턴 가장자리는 450.deg.C에서 2분 이상 sintering된 접촉을 제외하고는 sintering 후에 as-deposited 상태와 다를 바가 없었다. 430.deg.C, 3분 sintering에서 가장 낮은 비접촉저항을 나타낸 Au/Ge/Pd 접촉의 비접촉저항은 430.deg.C에서 Ge/Pd 두께 변화에 비교적 변화가 적었다. -
수소화처리가 다결정 $ extrm{Si}_{1-x} extrm{Ge}_{x}$박막의 전기적특성 및 표면거칠기에 미치는 영향
이승호, 이규용, 소명기, 김교선, Lee. Seung-Ho, Lee. Gyu-Yong, So. Myeong-Gi, Kim. Gyo-Seon 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1998, Vol.8 No.1 71-79 (9 pages)
Ge조성 증가에 따른 결정립크기변화가 표면거칠기 및 cluster크기에 미치는 영향에 대해 알아본결과, Ge조성 증가에 따라 결정립크기가 증가했으며 증가된 결정립에 의해 Cluster 크기와 표면거칠기값(RMS)들이 증가함을 알 수 있었다. 또한 증착된 다결정 Si$_{1-x}$Ge$_{x}$박막을 RF power와 온도변화에 따라 Ar/H$_{2}$플라즈마를 이용한 수소화처리를 행하여, 수소화 효과와 표면거칠기값 그리고 비저항값 변화에 대해 조사하였다. 수소화처리 후 cluster크기와 표면거칠기값은 기판온도와 RF power 증가에따라 감소함을 알 수...