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Fabrication and Characterization of Silicon Probe Tip for Vertical Probe Card Using MEMS Technology
Kim. Young-Min, Yu. In-Sik, Lee. Jong-Hyun 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 6 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2004, No.0 149-154 (6 pages)
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워터젯을 이용한 블라스팅 유리 마이크로 채널의 표면거칠기 개선
손성균, 한솔이, 성인하, 김욱배, Son. Sung-Gyun, Han. Sol-Yi, Sung. In-Ha, Kim. Wook-Bae 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 7 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2013, Vol.37 No.12 1159-1165 (7 pages)
파우더 블라스팅은 미세 유리가공법으로서 가공속도가 빠르고 저비용의 장점이 있지만 유리를 취성파괴 시키기 때문에 표면거칠기가 좋지않다. 블라스팅된 표면에 저압의 워터젯을 분사하여 표면에서의 연마 슬러리의 흐름을 통해 표면거칠기를 저감할 수 있다. 본 연구에서는 소다라임 유리에 블라스팅으로 마이크로 채널을 가공한 후 워터젯을 연속 적용하고, 마이크로 채널의 표면거칠기 및 단면 형상의 변화의 과정을 관찰하였다. 워터젯의 적용결과, 초기단계에서는 블라스팅에 의한 미세 요철이 제거되었고, 이후 표면하부의 크랙이... -
MEMS 기술을 이용한 미소 리블렛 필름 제작 및 항력 감소에의 응용
한만희, 허정기, 이상준, 이승섭, Han. Man-Hee, Huh. Jeong-Ki, Lee. Sang-Joon, Lee. Seung-Seop 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2002, Vol.26 No.7 991-996 (6 pages)
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미세 연소기 개발 (III) - 감광 유리를 이용한 마이크로 엔진의 제작 -
이대훈, 박대은, 윤준보, 윤의식, 권세진, Lee. Dae-Hoon, Park. Dae-Eun, Yoon. Joon-Bo, Yoon. Eui-Sik, Kwon. Se-Jin 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 7 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2002, Vol.26 No.12 1639-1645 (7 pages)
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나노간극에 발생하는 전기방전의 실험적연구
이영민, 최해운, Lee. Young-Min, Choi. Hae-Woon 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 7 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2011, Vol.35 No.5 495-501 (7 pages)
나노간극에서 발생하는 전기방전에 대해서 실험적으로 연구하고 그 결과를 분석하였다. Pt-Ir 합금으로 구성된 음극과 금으로 박막코팅된 양극사이에 전기방전을 하였다. 음극과 양극에서 전기장을 10V~80V 범위에서 제어하였으며, 간극은 50nm 에서 800nm 로 제어하였다. 이때 발생된 전기방전신호, 쇼트신호 등은 간접적으로 나노간극에서 발생하는 현상들을 이해할 수 있었다. 실험결과 전기방전은 전기장과 음극의 전극첨단의 반경에 매우 밀접하게 관련이 있었다. 작은 간극에서 발생하는 전기방전은 비교적 산포도가 크고 랜덤한... -
스테인리스 강 박막 및 기판을 이용한 배열형 정전용량 압력센서의 전기 기계적 특성연구
이흥식, 장성필, 조종두, Lee. Heung-Shik, Chang. Sung-Pil, Cho. Chong-Du 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 7 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2006, Vol.30 No.11 1369-1375 (7 pages)


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