발행기관
- 대한전기학회(17)
- 한국열환경공학회(10)
- 한국전기전자재료학회(10)
- 한국조명전기설비학회(10)
- 우리말학회(9)
- 한국진공학회(8)
- 한국전기산업진흥회(7)
- 한국재료학회(3)
- 한국환경과학회(3)
- 대한수의학회(2)
- 한국결정성장학회(2)
- 한국대기환경학회(2)
- 한국탄소학회(2)
- 경인교육대학교 교육연구원(1)
- 대한전기협회(1)
- 대한전자공학회(1)
- 대한환경공학회(1)
- 인문사회과학기술융합학회(1)
- 한국교육학회(1)
- 한국군사과학기술학회(1)
- 한국막학회(1)
- 한국습지학회(1)
- 한국음악치료학회(1)
- 한국전산유체공학회(1)
- 한국정보처리학회(1)
- 한국청정기술학회(1)
간행물
- 조명-전기설비학회논문지(10)
- 우리말연구(9)
- 전기전자재료학회논문지(8)
- 한국진공학회지(8)
- 한국열환경공학회 학술대회지(6)
- 전기학회논문지= THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(5)
- NEWSLETTER 전기공업(4)
- 열환경공학(4)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. B, 전기기기 및 에너지변환시스템부문(4)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. P(3)
- 한국재료학회지(3)
- CARBON LETTERS(2)
- 대한수의학회 학술대회발표집(2)
- 전기공업(2)
- 한국결정성장학회지(2)
- 한국환경과학회지(2)
- JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF ENVIRONMENTAL SCIENCE INTERNATIONAL(1)
- JOURNAL OF INTERNATIONAL COUNCIL ON ELECTRICAL ENGINEERING(1)
- KIEE INTERNATIONAL TRANSACTIONS ON ELECTROPHYSICS AND APPLICATIONS(1)
- TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC MATERIALS(1)
- 교육논총(1)
- 교육학연구(1)
- 대기보전 : 한국대기보전학회지(1)
- 대한환경공학회지(1)
- 멤브레인(1)
- 예술인문사회융합멀티미디어논문지(1)
- 전기산업(1)
- 전기저널(1)
- 전기전자재료(1)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. C/ C, 전기물성-응용부문(1)
- 전기학회지= THE PROCESSING OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF TELEMATICS AND ELECTRONICS. D(1)
- 정보처리학회논문지. THE KIPS TRANSACTIONS. PART A. PART A(1)
- 청정기술(1)
- 한국군사과학기술학회지(1)
- 한국대기환경학회지(1)
- 한국습지학회지(1)
- 한국음악치료학회지(1)
- 한국전산유체공학회지(1)
전체 선택해제
총 98건 검색
본문검색 결과만 보기
-
Low-Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상의 제거
민경석, 박병재, 염근영, 김성진, 이재구, Min. Kyung-Seok, Park. Byoung-Jae, Yeom. Geun-Young, Kim. Sung-Jin, Lee. Jae-Koo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.4 387-394 (8 pages)
생성시킨 중성빔을 이용하여 Aspect Ratio Dependent Etching (ARDE) 현상이 제거되는 효과에 대하여 연구하였다. SF6 가스를 사용하여 Inductively Coupled Plasma system과 이온빔으로 각각 poly-Si 을 식각한 결과 ARDE 현상을 관찰할 수 있었으며, Si 기판위에 증착된 Poly-Si을 식각하는 것보다 $SiO_2$ 기판 위에 증착된 Poly-Si을 식각하는 것이 ARDE 현상이 더 많이 나타난다는 것을 관찰할 수 있었다. 반면에 같은 공정 조건에서 중성빔으로 poly-Si을 식각한 결과 이러한 ARDE 현상이 효과적으로 제거되었음을 관찰할 수... -
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
정석재, 양호식, 조성민 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1998, Vol.7 No.4 390-396 (7 pages)
완전히 제거되지 않는 이온의 제거를 위해서 기판 하부에 양의 전압을 가하여 자계나 전계에 영향을 받지 않는 중성입자 흐름을 얻을 수 있도 록 하였다. 발생시킨 자계 및 전계의 의해 기판 상부에서의 전자밀도는 자계나 전계가 가해 지지 않은 경우에 비해 약1/1,000정도로 낮아졌으며, 이온밀도 또한 약1/10정도로 감소하였 다. 이러한 공정을 통해 얻어진 실리콘의 식각속도는 $Cl_2$와 10%의 SF6를 혼합하여 사용할 때 $8.5{ imes}10^{-4}$Torr의 압력에서 약100$AA$/min이하로 매우 낮았으며 실리콘의 식각이 비등방성 을... -
$SF_6$플라즈마를 이용한 텅스템 실리사이등 식각공정에서의 미세 식각형성 특성에 관한 연구
이창덕, 박상규 한국진공학회 韓國眞空學會誌 13 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1995, Vol.4 No.1 91-103 (13 pages)
SF6 플라즈마를 이용한 텅스템 실리사이드 식각공정에서 전력, 압력, 전극간 거리, 기판온도 등의 공정변수와 CI2 첨가 기체가 식각율, 이방성, RIE Lag 등의 식각특성에 미치는 영향을 살펴보았다. 입력 전력이 증가할수록 식각율이 증가하였고 RIE Lag는 감소하였다. 식각율은 150mtorr에서 최대가 되었는데 이는 이온과 반응성 라디칼의 공동작용효과가 가장 크게 나타나기 때문으로 생각된다. 또한 압력이 작아질수록 이온의 에너지가 증가하고 이온의 분산현상이 감소하여 RIE Lag이 감소되었다. 전극간 거리가 감소할수록 식각율은... -
PCPS용 반도체 연면방전 특성 연구
김정달, 정장근 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 9 Pages
한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 1999, Vol.13 No.4 87-95 (9 pages)
절연내력은 진공중에서 10[kV/cm]에서 심하게 열화되어졌고, 기중에서 30[kV/cm], SF6에서 80∼90[kV/cm]으로 개선되지만, 스위치의 주 응용이 진공 또는 우주에서 사용되기 때문에 이러한 현상은 매우 심각한 문제이다. 페시베이션후 소자들은 진공과 기중에서 언페시베이션된 소자가 SF6내에서 얻을 수 있는 만큼의 높은 파괴값을 가졌다. 이러한 결과로 볼 때 페시베이션된 소자들이 매우 우수한 파괴값을 가진다는 것을 알 수 있다. 본 논문은 고전계 하에서 페시베이션 전·후 실리콘 파괴의 주 특성과 메커니즘에 대해 밝혔다. -
$SF_6$ 가스 동축원통전극 내의 금속이물이 절연파괴에 미치는 영향
조국희, 권동진, 이강수, 곽희로 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 6 Pages
한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 1998, Vol.12 No.2 85-90 (6 pages)
SF6 가스로 압축된 GIS의 절연특성에 관하여 연구하였다. GIS 내에서 자유 도전성 금속이물이 혼입되면 절연파괴 전압을 낮추는 결정적인 역할을 할 수 있으므로, 금속이물의 재질과 크기에 따른 부상전계 및 절연파괴전압을 측정하였다. 구리, 철, 알루미늄의 선형 금속이물에서의 부상전계 계산값과 측정값을 비교, 분석하였다. 압축된 $SF_6$ 가스로 절연된 동축원통전극간에 금속이물의 혼입될 경우의 절연파괴전압은 금속이물의 없을 때보다 낮게 나타났으며, 금속이물의 재질과 크기에 상당히 의존하였다. 따라서 자유도전성... -
$SF_6$GIS용 스페이서 표면 파티클에 의한 절연파괴 특성
김정달, 이세훈 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 9 Pages
한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 1998, Vol.12 No.1 3-11 (9 pages)
스페이서 표면 파티클에 의한 오염의 영향은 SF6GIS의 절연내력을 현저히 감소시킨다. 이와 관련해서 우리는 평행평판전극 구성으로 SF6가스중에서 금속 및 비금속 파티클의 위치 및 형태를 변화시키면서 교류전압에서 섬락전압 특성과 파괴 기구에 대해서 연구했다. 주된 결과는 $circled1$파티클 위치에 대한 섬락전압 감소의 영향은 갭중간에서 가장 적고 전극에서 미소간극 분리된 경우의 영향이 가장 커다. $circled2$ 섬락전압 감소가 크게 되는 금속 파티클 일수록 FOV 포화 현상은 낮은 압력 영역으로 이동된다.... -
GIS 예방진단시스템을 위한 TMO 응용 데이터 수집 시스템
김태완, 김윤관, 장천현, Kim. Tae-Wan, Kim. Yun-Gwan, Jang. Cheon-Hyeon 한국정보처리학회 정보처리학회논문지. The KIPS transactions. Part A. Part A 8 Pages
한국정보처리학회 정보처리학회논문지. The KIPS transactions. Part A. Part A 2009, No.0 481-488 (8 pages)
가스절연개폐장치(Gas Insulated Switchgear:GIS)는 SF6가스를 절연 매체로 하는 대용량 전력 차단기기이다. GIS는 단순한 구조로 고장이 적고 신뢰성이 높은 편이지만 내부를 볼 수 없어 고장 확인이 어렵고 고장이 발생하면 파급 효과가 크고 복구가 어렵다. 따라서 GIS 내부의 이상 징후를 초기에 찾아낼 수 있도록 GIS 예방진단시스템이 도입되었다. GIS 예방진단시스템은 센서에서 수집, 분석한 정보로 이상 징후를 판 단하기 때문에 데이터의 신뢰성과 적시성이 중요하다. 하지만 기존 시스템은 중앙 집중 데이터 수집 방식으로... -
복잡지형에서의 대기순환모델에 관한 연구
윤준용, 이성철, 홍민선, Yoon. J. Y., Yi. S. C., Hong. M. S. 한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 8 Pages
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 1997, Vol.2 No.1 109-116 (8 pages)
-
환경저부하형 신절연/소호매체 개발 동향
이동희 한국전기전자재료학회 전기전자재료 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료 2000, Vol.13 No.2 48-52 (5 pages)
우수한 절연성능과 소호성능을 가진 SF6 가스의 사용이 지구온난화 문제를 배경으로 국제적으로 규제되는 경향에 있다. 이 과정에서 환경을 배려한 차세대의 전력기기·시스템을 구축하기 위해 새로운 절연·소호매체의 개발이 시급한 과제로 대두되어 있다. 본 고에서는 SF6 대체가스의 절연특성에 관한 연구 동향과 SF6 대체가스의 아크 차단특성에 관한 연구 동향 등을 살펴보고, 향후 환경저부하형 신절연/소호매체 개발을 위한 연구 가제 등에 대해 기술해 보았다. -
중공사 고분자 분리막을 통한 단일기체($SF_6$, $N_2$, $O_2$, $CF_4$) 투과플럭스의 온도와 압력에 따른 변화특성
이민우, 이순재, 김한별, 김성현, 이상협, Lee. Min-Woo, Lee. Soon-Jae, Kim. Han-Byul, Kim. Sung-Hyun, Lee. Sang-Hyup 한국막학회 멤브레인 12 Pages
한국막학회 멤브레인 2012, Vol.22 No.1 23-34 (12 pages)
중공사 고분자 분리막을 이용한 SF6를 분리 농축을 위한 운전조건을 결정하기 위해서는, 온도와 압력이 투과특성에 미치는 영향에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 다양한 온도와 압력이 부과된 조건에서 단일기체 투과실험을 수행하여, 중공사 고분자 분리막(PSF, PC, PI)을 통한 기체($N_2$, $O_2$, $SF_6$, $CF_4$)의 투과특성을 연구하였다. 실험결과, 기체의 투과플럭스는 온도와 압력의 증가에 따라 일반적으로 증가하는 것으로 나타났으나, 분리막에 따른 투과플럭스의 차이가 관찰되었으며, 온도, 압력에 따른 투과플럭스...