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현대 사회는 국제적으로 물적, 인적 교류가 빈번해 지고 통신과 교통의 발달로 다양한 문화 와 가치관을 접할 기회가 많아졌다. 구체적으로 인구의 이동 뿐 아니라, 옹라인을 통해 다른 문 화를 접할 수 있는 경로가 다양해지고 사회기반시설 등의 발달에 따른 on/off site에서의 삶의 양식은 이전과 다르게 급속하게 변화하고 있다. 미국소수자 인권운동과 함께 시작된 ‘다문화 교육’ 은 이후 다양한 관점에서 해석되고 주장되 고 있지만, 우리나라의 경우 다문화 가정을 대상으로 한 교육을 시발점으로 볼 수 있다. 우리나 라에서의...
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Low-Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상의 제거
민경석, 박병재, 염근영, 김성진, 이재구, Min. Kyung-Seok, Park. Byoung-Jae, Yeom. Geun-Young, Kim. Sung-Jin, Lee. Jae-Koo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.4 387-394 (8 pages)
사용하여 Inductively Coupled Plasma system과 이온빔으로 각각 poly-Si 을 식각한 결과 ARDE 현상을 관찰할 수 있었으며, Si 기판위에 증착된 Poly-Si을 식각하는 것보다 $SiO_2$ 기판 위에 증착된 Poly-Si을 식각하는 것이 ARDE 현상이 더 많이 나타난다는 것을 관찰할 수 있었다. 반면에 같은 공정 조건에서 중성빔으로 poly-Si을 식각한 결과 이러한 ARDE 현상이 효과적으로 제거되었음을 관찰할 수 있었다. 중성빔을 이용하여 ARDE 현상이 제거되는 원리는 2 차원의 XOOPIC code 와 TRIM code를 사용하여 여러가지 나노스케일의...
