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PECVD Chamber Cleaning End Point Detection (EPD) Using Optical Emission Spectroscopy Data
Lee. Ho Jae, Seo. Dongsun, Hong. Sang Jeen, May. Gary S. 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2013, Vol.14 No.5 254-257 (4 pages)
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EPD 방법을 이용한 알루미나-실리카 복합 코팅막의 제조와 전기절연 특성
지혜, 김두환, 박희정, 임형미, 이승호, 김대성, 김영희, Ji. Hye, Kim. Doo Hwan, Park. Hee Jeong, Lim. Hyung Mi, Lee. Seung-Ho, Kim. Dae Sung, Kim. Younghee 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2014, Vol.51 No.3 177-183 (7 pages)
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세라믹 분말재료의 EPD 후막형성 기술
소대화, 전용우, Soh. Dea-Wha, Jeon. Yong-Woo 한국동굴학회 洞窟 : 한국동굴학회지 6 Pages
한국동굴학회 洞窟 : 한국동굴학회지 2006, Vol.75 No.47 49-54 (6 pages)
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EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출에 관한 연구
이석주, 차상엽, 최순혁, 고택범, 우광방 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 11 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 1998, Vol.4 No.4 506-516 (11 pages)
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EPD 신호궤적을 이용한 플라즈마 식각공정의 실시간 이상검출
차상엽, 이석주, 고택범, 우광방, Cha. Sang-Yeob, Yi. Seok-Ju, Koh. Taek-Beom, Woo. Kwang-Bang 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 10 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 1998, Vol.4 No.2 246-255 (10 pages)
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지상 공개 강좌-광학소자 가공방법(연마 편)-전기 영동 지석 연마(EPD)
한국광학기기협회, . Korea Optical Industry Association 한국광학기기협회 광학세계 4 Pages
한국광학기기협회 광학세계 2008, Vol.116 No.4 65-68 (4 pages)


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