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90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
고용득, 천희곤, 이징혁, Ko. Yong-Deuk, Chun. Hui-Gon, Lee. Jing-Hyuk 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.3 206-211 (6 pages)
90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
고용득, 천희곤, 이징혁, Ko. Yong-Deuk, Chun. Hui-Gon, Lee. Jing-Hyuk 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.3 206-211 (6 pages)