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물질전과정평가(MLCA)를 통한 투명전극 ITO (Indium Tin Oxide)의 환경성 평가
이수선, 이나리, 김경일, 홍태환, Lee. Soo-Sun, Lee. Na-Ri, Kim. Kyeong-Il, Hong. Tae-Whan 한국청정기술학회 청정기술 7 Pages
한국청정기술학회 청정기술 2012, Vol.18 No.1 69-75 (7 pages)
ITO (Indium Tin Oxide) 투명전극의 재활용에 대한 환경성 평가를 실시하였다. ITO 전극의 경우 도전성과 함께 투명성을 가지는 재료로서 터치 패널이나 LCD (Liquid Crystal Display), ELD (Emitting Light Device), PDP (Plasma Display Panel) 등 각종 디스플레이 장치의 제조를 위한 투명전극으로 수요가 증가하는 추세이다. 특히 인듐과 같은 희소금속을 함유하고 있기 때문에 국가 전략적으로 반드시 재활용되어야 한다. 또한 매립이나 폐기시 발생하는 환경오염 및 인간에게 미치는 영향도 고려해야 한다. 이에 대해 Material Life... -
고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작된 ITZO (indium tin zinc oxide) 박막의 전기적 및 광학적 특성
서진우, 정양희, 강성준, Seo. Jin-Woo, Joung. Yang-Hee, Kang. Seong-Jun 한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 6 Pages
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 2013, Vol.17 No.8 1873-1878 (6 pages)
본 연구에서는 RF magnetron sputtering 법으로 상온에서 공정압력 (1~7 mTorr) 을 변화시켜가며 유리기판(Eagle 2000) 위에 ITZO ($In_2O_3$ : $SnO_2$ : ZnO = 90wt.%: 5wt.%: 5wt.%) 박막을 제작하여, 구조적 특성과 광학적 및 전기적 특성을 조사하였다. XRD 와 FESEM 측정을 통해, 공정압력에 무관하게 모든 ITZO 박막이 부드러운 표면의 비정질 구조를 가지고 있음을 확인할 수 있었다. 공정압력 3mTorr 에서 증착한 ITZO 박막이 비저항 $3.08{ imes}10^{-4}{Omega}{cdot}cm$, 가시광 영역에서 평균 투과도 81 % 와 재료평가지수... -
Electrical and Mechanical Properties of Indium-tin-oxide Films Deposited on Polymer Substrate Using Organic Buffer Layer
Han. Jeong-In, Lee. Chan-Jae, Rark. Sung-Kyu, Kim. Won-Keun, Kwak. Min-GI 한국정보디스플레이학회 Journal of information display 9 Pages
한국정보디스플레이학회 Journal of information display 2001, Vol.2 No.2 52-60 (9 pages)
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펄스레이저증착법으로 증착한 Indium Zinc Oxide 박막의 물성
최학순, 정일교, 신문수, 김헌오, 김용수, Choi. Hak-Soon, Jeong. Il-Kyo, Shin. Mun-Soo, Kim. Heon-Oh, Kim. Yong-Soo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.7 537-542 (6 pages)