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Implementation of Electrochemical Methods for Metrology and Analysis of Nano Electronic Structures of Deep Trench DRAM
Zeru. Tadios Tesfu, Schroth. Stephan, Kuecher. Peter 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science 11 Pages
대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science 2012, Vol.12 No.2 219-229 (11 pages)
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비점오염저감시설인 침투도랑과 여과형 시설내 침강지 퇴적물의 물리화학적 특성 분석
이소영, 이은주, 김철민, M.C.Maniquiz, 손영규, 김지형, 김이형 한국습지학회 한국습지학회지 8 Pages
한국습지학회 한국습지학회지 2007, Vol.9 No.3 4 35-42 (8 pages)
최근 환경부의 환경정책은 수질오염총량관리제도의 전국적인 확대를 앞두고 다양한 토지이용에서 발생되는 비점오염물질의 관리를 추진하고 있다. 이러한 환경정책의 변화와 함께 4대강 수계에 비점오염원 시범사업을 통해 다양한 비점오염저감시설의 효율평가 및 시설의 유지관리에 대하여 모니터링도 수행하고 있다. 따라서 본 연구는 한강수계에 설치된 비점오염 저감시설 중에서 전처리 시설로 설치되어 있는 침강지 또는 침사지 퇴적물의 물리화학적 성상을 연구함으로써 폐기물로써의 퇴적물 관리에 대한 기초자료를 제시하고자... -
HDP를 이용한 실리콘 단결정 Deep Dry Etching에 관한 특성
박우정, 김장현, 김용탁, 백형기, 서수정, 윤대호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.6 570-575 (6 pages)
현재 전기 . 전자 기술의 추세는 소형화를 비롯하여 집적화, 저전력화, 저가격화의 장점을 가진 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) device의 개발에 주력하고 있으며, 이를 위해서는 고종횡비와 높은 식각 속도를 가진 HDP(High Density Plasma) etching 기술 개발이 필수적이라 할 수 있다. 이를 위하여 우리는 Inductively Coupled Plasma(ICP) 장비를 이용하여 각 공정 변수에 의한 실리콘 deep trench식각 반응을 연구하였다. 실험 공정 변수인 platen power, etch/passivation cycle time에서 etching 단계 시간에 따른 변화와... -
단결정 다이아몬드 공구에 의한 비철금속과 폴리머 소재의 마이크로 트렌치 가공특성 비교
최환진, 전은채, 최두선, 제태진, 강명창, Choi. Hwan-Jin, Jeon. Eun-Chae, Choi. Doo-Sun, Je. Tae-Jin, Kang. Myung-Chang 한국분말야금학회 한국분말야금학회지 4 Pages
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 2013, Vol.20 No.5 355-358 (4 pages)
