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하이브리드 공정으로 제조한 TiAlSiN 박막의 특성
송민아, 양지훈, 정재훈, 김성환, 정재인, Song. Min-A, Yang. Ji-Hoon, Jung. Jae-Hun, Kim. Sung-Hwan, Jeong. Jae-In 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2014, Vol.47 No.4 174-180 (7 pages)
하이브리드 공정으로 제조한 TiAlSiN 박막의 특성
송민아, 양지훈, 정재훈, 김성환, 정재인, Song. Min-A, Yang. Ji-Hoon, Jung. Jae-Hun, Kim. Sung-Hwan, Jeong. Jae-In 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages
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