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이불화제논 기상 식각에 의한 실리콘 기판의 표면 텍스쳐링 특성
김선훈, 기현철, 김두근, 나용범, 김남호, 김회종, Kim. Seon-Hoon, Ki. Hyun-Chul, Kim. Doo-Gun, Na. Yong-Beom, Kim. Nam-Ho, Kim. Hwe-Jong 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 5 Pages
대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2010, Vol.59 No.4 749-753 (5 pages)


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