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Polymaleimide Copolymers with Norbornane units for Polymeric Optical Waveguides
Park. Ki-Hong, Kim. Won-Lae, Lee. Chul-Joo, Han. Kwan-Soo, Han. Hak-Soo 한국광과학회 Journal of photoscience: an international journal officail organ of the Korean Society of Photoscien 6 Pages
한국광과학회 Journal of photoscience: an international journal officail organ of the Korean Society of Photoscien 2002, Vol.9 No.1 23-28 (6 pages)
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고분자 광도파로용 핫엠보싱 마스터의 표면거칠기 최소화를 위한 열산화 영향
최춘기, 정명영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.1 34-38 (5 pages)
핫엠보싱 기술을 이용하여 고분자 광도파로를 제작하기 위해서는 핫엠보싱 마스터가 필수적이며, 본 연구에서는 deep-RIE 공정에 의해 실리콘 마스터를 제작하였다. 광도파로의 광손실과 직접 연관이 있는 실리콘 마스터의 측면 거칠기를 최소화하기 위해 deep-RIE 공정 수행 후, 온도 $1050^{circ}C$에서 $H_2/O_2$ 분위기하에 산화층을 각각 400$AA$, 1000$AA$, 3000$AA$, 4500$AA$, 5600$AA$ 및 6200$AA$ 두께로 형성하였으며, 곧바로 $NH_4$F:HF=6:1 BOE를 사용하여 산화층을 제거하였다. 제작된 마스터의 측면 거칠기를 SPM-AFM을...


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