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특허(特許)로 본 스트리핑 공정(工程) 재활용(再活用) 기술(技術) 동향(動向)
박명준, 이호경, 구기갑, 강경석, 한혜정, Park. Myung-Jun, Lee. Ho-Kyung, Koo. Kee-Kahb, Kang. Kyung-Seok, Han. Hye-Jung 한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 10 Pages
한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 2009, Vol.18 No.1 58-67 (10 pages)
국내 포토레지스트 스트리퍼의 연간 소요량은 약 1000억원 규모(50, 000톤)로 대부분 전량 수입에 의존하고 있으나, 폐스트리퍼에는 각종 불순물이 함유되어 있어, 소각 또는 낮은 수준으로 재활용되어 오는데 그치고 있다. 최근 경제적 측면과 효율성 측면에서 스트리퍼 폐액의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 논문에서는 스트리퍼 폐액의 재활용에 관한 특허 기술을 분석하였다. 분석범위는 2007 9월까지 미국, 유럽연합, 일본과 한국에서 출원 및 공개된 특허로 제한하였다. 특허들은 전체적으로 검색어를 사용하여...