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유도결합 $Cl_2$및 $HBr/Cl_2$ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
이주훈, 이영준, 김현수, 이주욱, 이정용, 염근영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.3 267-274 (8 pages)
이용하여 차세대 반도체 집적회로에 사용가능한 STI(Shallow Trench Isolation)구조에서 trench 식각시 trench etch profile 및 격자손상에 영향을 미치는 공정변수의 효과에 대하여 연구하였다. 식각결과 $Cl_2$만을 사용한 경우에는 trench 식각공정 동안 화학적 측면식각의 증가로 인하여 등방성 식각이 얻어지고 이는 유도입력 전력이 증가하고 바이어스 전압이 감소함에 따라 이의 경향이 증가하였다. 측면식각의 정도는 $Cl_2$에 $N_2$ 및 $O_2$의 첨가에 따라 감소하였다. 순수 HBr을 사용한 경우에 있어서는 Br 라디칼이... -
Trench 식각각도에 따른 Super Juction MOSFET의 래치 업 특성에 관한 연구
정헌석, 강이구, Chung. Hun Suk, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.9 551-554 (4 pages)
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Enhancement of On-Resistance Characteristics Using Charge Balance Analysis Modulation in a Trench Filling Super Junction MOSFET
Geum. Jongmin, Jung. Eun Sik, Kim. Yong Tae, Kang. Ey Goo, Sung. Man Young 대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 5 Pages
대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 2014, Vol.9 No.3 843-847 (5 pages)
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Elastic Open Activator를 이용한 II급 부정 교합의 치료효과
정규림(Kyu-Rhim Chung), 박영국(Young-Guk Park), 이현경(Hyun-Kyung Lee) 대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 13 Pages
대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 1995, 제 25권 제 5호 1 511-523 (13 pages)
the sagittal malocclusion, the orthodontic trench is dependent upon the growth of basal structure aimed, therefore, it is contemplated to grabble the effects of Elastic Open Activator upon the class II malocclusion of growing child retrospectively. The cephalometric headfilms and study models of nine class II malocclusion of growing 522 정규림, 박영국r 이현경 대치교정지 25권 5호. 1995년 3. 상악... Elastic Open Activator(E.O.A)는 myodynamic activator의` 일종으로서 장치의 아크릴 부위의 대폭적인 크기 감소로 환자가 거부감 없이 장시간 착용할 수 있는 장점을 가지며, 구강내에서 매우 느슨하게 장착되므로써 보다 적극적인 근기능 자극 효과를 나타내고, 구강 내외의 제 기능시 발휘되는 생리적인 힘을 효율적으로 치조골 및 악관절부에 전달시킨다. 특히 기능모체(functional matrix)를 효과적으로 차단하는 동시에 능동적으로 자극함으로써 많은 부정교합 증례에서 비발치에 의한 교정치료의 성공률을 높이는 것으로... -
한국인 정상교합자의 하악치열궁 형태에 관한 연구
남종현(Jong-Hyun Nam), 이기수(Ki-Soo Lee) 대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 12 Pages
대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 1996, 제 26권 제 5호 6 535-546 (12 pages)
J. Orthod. 한국인 정상I I합자의 하악치열궁 형태에 관한 연구 measure-m ent mean 土 b.D. (mm) trench mean 士 SD. (mm) 25.8± 1.4 45.3+ 2.4 54.1 ± 3.0 5.5 ± 0.9 23.7+ 1.7 39.6± 2.2 t-test 좌우 치아의 교두점부터 협측점까지의 거리의 평 = _ 균， 최대값， 최소값，평균, 표준편차， 변위계수는 ** Table 9 에 제시 하였다. 측절치 와 견치 간의 차이 가 가 ** 장 크게 나타났다. 木木 IV. 총괄 및 고안 * ；... 이 연구는 한국인 하악치열궁 형태를 분류하고, 교두정에서 브라켓 높이의 협면점까지 거리를 계측하여 이상적인 호선 제작에 도움을 얻기 위하여 시행 되었다. 13세에서 25세 사이의 정상적인 교합자 159명의 석고모형을 대상으로 순측 및 협측 교두정을 지나는 하악치열궁선에서 견치간, 제1대구치간 및 제2대구치간 폭경과 이들의 고경을 계측한 다음, 유클리안 거리를 이용한 평균군집분석을 시행하여 치열궁형태를 5가지로 분류하고, 각각의 6차 다항식과 결정계수를 구하였으며, 교두정에서 브라켓 높이의 협면점까지의 거리를... -
전하 불균형 효과를 고려한 Super Junction MOSFET 개발에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.10 613-617 (5 pages)
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Super Juction MOSFET의 공정 설계 최적화에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.8 501-504 (4 pages)
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P-pillar 식각 각도에 따른 Super Junction MOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.8 497-500 (4 pages)