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111.

Co/Ti Bilayer Silicidation on the $ extrm{p}^{+}$-Si Region Implanted with High Dose of $ extrm{BF}_2$

장지근, 신철상, Jang. Ji-Geun, Sin. Cheol-Sang 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1999, Vol.9 No.2 168-172 (5 pages)

장지근, 신철상, Jang. Ji-Geun, Sin. Cheol-Sang 저

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연구에서는 Co/Ti 이중막 실리사이드는 청결한 $ extrm{p}^{+}$-Si 기판상에 Co(150${AA}$)/Ti(50${AA}$) 박막을 E-beam 기술로 진공증착하고 질소분위기($ extrm{10}^{-1}$atm)에서 2단계 RTA 공정(1차열처리:$650^{circ}C$/20sec, 2차열처리:$800^{circ}C$/20sec)을 수행하여 제작된다. 실험에서 얻어진 Co/Ti 이중막 실리사이드는 약 500${AA}$의 균일한 두께를 갖고 18$muOmega$-cm의 낮은 비저항 특성을 나타내었으며, $1000^{circ}C$에 이르기까지 장시간 후속 열처리를 실시하여도 면저항 변화나 열응집 현상이 발생되지 않았다.
112.

비행시간형 직충돌 이온산란 분광법을 사용한 TiC(001)면의 Ta편석 연구

황연, Hwang. Yeon 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.7 559-563 (5 pages)

황연, Hwang. Yeon 저

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있는 수법으로, 이온주입된 시편을 1$600^{circ}C$에서 300sec동안 진공 가열하여 Ta 원자를 편석시킨 후 스펙트럼의 입사각도 의존성을 구함으로써 Ta원자의 편석 위치 및 농도구배를 조사하였다. [110]및 [100]방위에서 Ta과 Ti의 focusing peak가 서로 같은 입사각도에서 나타나며 편석된 Ta원자는 TiC의 Ti-site에 위치한다. Ta원자는 표면 최외층에만 편석되는 것이 아니라 수층에 걸쳐 Ti-site에 자리하고 있으며, Ta 원자의 농도는 표면 최외층에서 내부 층으로 깊어질수록 작아진다. 이온주입시 생성된 표면층의 탄소 격자 결함은...
113.

Ti 산화물강의 용접열영향부에서 Acicular Ferrite의 형성에 관한 연구

원형민, 김용덕, 하현승, 김준기, 김선진, 강계명, Won. Hyeong-Min, Kim. Yong-Deok, Ha. Hyeon-Seung, Kim. Jun-Gi, Kim. Seon-Jin, Gang. Gye-Myeong 한국재료학회 한국재료학회지 12 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.12 1221-1232 (12 pages)

원형민, 김용덕, 하현승, 김준기, 김선진, 강계명, Won. Hyeong-Min, Kim. Yong-Deok, Ha. Hyeon-Seung, Kim. Jun-Gi, Kim. Seon-Jin, Gang. Gye-Myeong 저

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용접부 인성을 향상시키기 위해 Ti 산화물을 첨가한 Ti 산화물강에 대하여 용접시 최고가 열온도와 냉각속도의 변화가 용접열영향부의 미세조직에 미치는 영향을 조사하였다. 용접열영향부의 인성향상에 기여하는 acicular ferrite는 140$0^{circ}C$ 이상의 최고가열온도와 $Delta$t800-500가 40초보다 빠른 냉각속도에서 활발해 생성되었다. 오스테나이트 결정립내에서 개재물로부터 핵생성된 일차 acicular ferite의 생성량은 전체 aicular ferrite의 약 20% 정도로 적었으며 대부분의 acicular ferrite는 일차 acicular ferrite로부터...
114.

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철, 김기범, Park. Gi-Cheol, Kim. Gi-Beom 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.1 87-95 (9 pages)

박기철, 김기범, Park. Gi-Cheol, Kim. Gi-Beom 저

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Al과 Si사이에서 Ti의 충진처리가 확산방지막 성능에 미치는 영향에 대해서 조사하였다. TiN의 충진처리는 $450^{circ}C$의 $N_{2}$ 분위기에서 30분간 열처리함으로써 행하였다. TEM 분석을 통해 갓 증착된 TiN의 결정립 사이에는 약 10-20$AA$ 정도의 고체물질이 없거나 TiN에 비해 밀도가 매우 낮은 공간이 존재함을 알 수 있었다. 또한 충진처리된 TiN의 경우에는 이러한 공간의 폭이 10$AA$ 이하로 줄어듦을 알 수 있었다. RBS와 AES 분석에 의해 갓 증착된 TiN는 dir 7at.% 정도의 산소를 함유하고 있었고, 충진처리된 TiN는 약...
115.

연소법으로 합성한 LiNi1-yMyO2(M=Zn2+, Al3+, and Ti4+ 전기화학적 특성

권익현, 송명엽, Kwon. Ikhyun, Song. Myoungyoup 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.4 276-281 (6 pages)

권익현, 송명엽, Kwon. Ikhyun, Song. Myoungyoup 저

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산소분위기, $750^{circ}C$서 36 h 동안 하소함으로써 연소법에 의해 $LiNi_{1-y}M_{y}O_{2}(M=Zn^{2+},;Al^{3+},;and;Ti^{4+},;0.000{le}y{le}0.100)$를 합성하였다. 각 시료에 대해 XRD 분석, FE-SEM 관찰, 싸이클 수에 따른 방전 용량의 변화 조사가 행해졌다. $LiNi_{0.99}M_{0.01}O_{2}$ (M=Zn, Al, and Ti) 조성이 여러 조성 중에서 대체로 우수한 전기화학적 특성을 나타내었다. 결정성과 cation mixing의 평가에서 Zn을 치환한 경우 결정성이 나쁘게 나타났고 Ti를 치환한 경우 cation mixing이 크게 나타났으며, Al을 치환한...
116.

세라믹스 종결정 위에 Floating Zone Technique 법으로 성장한 Ba(Ti0.92Zr0.08)O3 다결정의 Tunability

황호병, Hwang. Ho-Byong 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.10 771-776 (6 pages)

황호병, Hwang. Ho-Byong 저

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technique법으로 $Ba(Zr_{0.08}Ti_{0.92})O_3$ 다결정을 성장하였다. 열처리 효과를 알아보기 위하여 성장한 결정의 일부를 떼어내어 $1,200^{circ}C$에서 10시간동안 산소 분위기에서 열처리하였다. $-100^{circ}C$에서 $+150^{circ}C$ 온도 영역에서 유전상수 및 유전손실을 10kHz, 100kHz, 그리고 1 MHz에서 측정하여 성장 결정의 유전특성을 알아보았다. 상온($27^{circ}C$)과 저온($-73^{circ}C$)에서 직류전장(-15kV/cm$le$E$le$15kV/cm)을 인가하면서 유전상수의 변화를 10kHz와 100kHz에서 측정함으로써 유전상수의 전장의존성을...
117.

Taguchi법을 이용한 Ti/TiO2/IrO2-RuO2전극의 부식특성 최적화

이득용, 채경선, 최형기, 예경환, 안중홍, 송요승 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.6 582-588 (7 pages)

이득용, 채경선, 최형기, 예경환, 안중홍, 송요승 저

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Ti 기판에 TiO$_2$ 중간층을 플라즈마 용사법으로 증착 후 IrO$_2$-RuO$_2$ 박막을 졸-겔과 dip coating법으로 제조하였다. 코팅 층의 접착력을 향상시키기 위하여 유기화합물과 glass brit을 첨가하였다. Taguchi법의 망대특성과 Lls(2$^1$$ imes$3$^{7}$ )의 직교배열표를 이용하여 IrO$_2$-RuO$_2$ 박막의 최적조건인 인자와 수준 조합의 최적화를 전류밀도를 측정 분산분석하였다. 최적의 코팅조건은 각각 ethyl cellulose의 점도는 100cp, 건조온도 및 시간은 17$0^{circ}C$ 20분, 열처리온도 및 시간은 75$0^{circ}C$ 10분, 전도성...
118.

택사(Alismatis Rhizoma) trypsin inhibitor의 정제와 특성

박종옥, 이인섭 한국생명과학회 생명과학회지 7 Pages

한국생명과학회 생명과학회지 2002, Vol.12 No.2 151-157 (7 pages)

박종옥, 이인섭 저

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한방재료의 하나인 택사(Alismatis Rhizoma, AR)로부터 단백성 trypsin inhibitor(TI)를 분리, 정제하여 특성을 조사하였다. 정제과정은 0-80.% 포화 황산암모늄을 이용한 염석법, DEAE-cellulose ion exchange chromatography, Sep-hadex G-150 chromatography 등을 이용하였다. 정제된 ARTI의 분자량을 gel filtration과 SDS-PAGE 한 결과 모두 약 23,000 Da으로 나타나 monomer로 되어 있는 것으로 나타났다. 온도안정성에 있어 0-6$0^{circ}C$에서는 안정하였으나 그 이상의 온도에서는 약 35%가지 안정성이 떨어졌다. ARTI와...
119.

Agrobacterium tumefaciens KU12로부터 Octopine형 Ti 및 잠재 플라스미드의 제거에 의한 숙주 개발

하운환, 이용욱, 문혜연, 심웅섭, Ha. Un-Hwan, Lee. Yong-Woog, Moon. Hye-Yeon, Sim. Woong-Seop 한국미생물학회 미생물학회지 7 Pages

한국미생물학회 미생물학회지 1994, Vol.32 No.1 53-59 (7 pages)

하운환, 이용욱, 문혜연, 심웅섭, Ha. Un-Hwan, Lee. Yong-Woog, Moon. Hye-Yeon, Sim. Woong-Seop 저

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Agrobacterium tumefaciens KU12내에 존재하는 240kb 크기으 octopine형 Ti 플라스미드인 pTiKU12와 45kb 크기의 잠재 플라스미드인 pTi12를 제거하여 무독성의 A. tumefaciens 균주를 제조하였다. Octopine형 Ti 플라스미드인 pTiKU12는 고온(37${circ}C$)에서의 배양과 ethidium bromide가 첨가되어 있는 배지에서의 배양을 각각 실시하여 제거하였으며, 잠재 플라스미드인 pTi12는 pTi12의 복제기원이 클로닝되어 잇는 재조합 플라스믿인 pYWXP와의 비화합성을 이용하여 제거하였다. pYWXP는 ethidium bromide가 첨가되어 있는...
120.

Ti/Cu/Au UBM의 Au 두께와 리플로우 온도에 따른 Sn-52In 솔더와의 계면반응 및 전단 에너지

최재훈, 전성우, 오태성, Choi. Jae-Hoon, Jun. Sung-Woo, Oh. Tae-Sung 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 7 Pages

한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2005, Vol.12 No.1 87-93 (7 pages)

최재훈, 전성우, 오태성, Choi. Jae-Hoon, Jun. Sung-Woo, Oh. Tae-Sung 저

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두께를 $0.1{~}0.7{mu}m$로 변화시킨 $0.1{mu}m$ Ti/3 ${mu}m$ Cu/Au UBM 상에서 48Sn-52In 솔더를 $150-250^{circ}C$의 온도 범위에서 리플로우시 UBM/솔더 반응에 의한 금속간화합물의 형성거동을 분석하였다. 또한 Ti/Cu/Au UBM의 Au 두께 및 리플로우 온도에 따른 볼 전단강도와 전단에너지를 분석하였다. $150^{circ}C$와 $200^{circ}C$에서 리플로우 시에는 UBM/솔더 계면에 $Cu_6(Sn,In)_5$와 $AuIn_2$ 금속간 화합물이 형성되어 있으나, $250^{circ}C$에서 리플로우 시에는 솔더 반응이 크게 증가하여 UBM이 대부분 소모되었다....

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