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151.

나노 크기의 타이타니아 담체를 활용한 Pd-Cu 촉매의 수중 질산성 질소 저감 반응에의 적용

김민성, 이지연, 이관영, Kim. Min-Sung, Lee. Jiyeon, Lee. Kwan-Young 한국청정기술학회 청정기술 7 Pages

한국청정기술학회 청정기술 2014, Vol.20 No.1 28-34 (7 pages)

김민성, 이지연, 이관영, Kim. Min-Sung, Lee. Jiyeon, Lee. Kwan-Young 저

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반응에 적용한 결과, 타이타니아 담체의 결정 크기가 반응 활성에 영향을 미치는 것이 확인되었다. 결정 크기가 작은 담체를 활용한 촉매가 더 빠른 속도로 질산성 질소를 저감하였지만, 반응 중 pH가 높게 형성되어 질소 선택도가 매우 낮은 현상을 보였다. 이를 해결하기 위해 pH 완충제인 이산화탄소를 공급하여 질소 선택도를 약 60% 증가시켰다. 상기에 언급한 촉매를 대상으로 질소 흡-탈착, X-ray diffraction (XRD), $H_2$-temperature programmed reduction (TPR), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 등의 다양한 특성화...
152.

Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 연구

권구은, 김성준, 김수인, 이창우, Kwon. Ku Eun, Kim. Sung Joon, Kim. Soo In, Lee. Chang Woo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2013, Vol.22 No.4 188-192 (5 pages)

권구은, 김성준, 김수인, 이창우, Kwon. Ku Eun, Kim. Sung Joon, Kim. Soo In, Lee. Chang Woo 저

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결정학적 특성을 ${eta}$-ray backscattering spectroscopy, 4-point probe, X-ray diffraction (XRD)을 이용하여 측정한 후 Nano-indenter를 사용하여 nano-mechanics 특성을 조사하였다. 그 결과 질소 가스 유량이 5 sccm 포함된 박막에서 표면 경도(surface hardness)는 10.07 에서 15.55 GPa로 급격하게 증가하였다. 이후 질소가스의 유량이 7.5 및 10 sccm에서는 표면 경도가 각각 12.65와 12.77 GPa로 질소 가스 유량이 5 sccm인 박막보다 표면경도가 상대적으로 감소하였다. 이는 박막 내 결정질과 비정질의 W과 N의 결합 비율의...
153.

Sb 계면활성제에 의한 p-GaN 박막의 홀농도 향상

김자연, 박성주, 문영부, 권민기, Kim. J.Y., Park. S.J., Moon. Y.B., Kwon. M.K. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.4 271-275 (5 pages)

김자연, 박성주, 문영부, 권민기, Kim. J.Y., Park. S.J., Moon. Y.B., Kwon. M.K. 저

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측정을 통해 Sb가 계면활성제처럼 역할을 함으로써 p-GaN의 2차원 성장이 촉진됨을 알 수 있었다. 또한 X-ray diffraction 결과 [002] 면과 [102] 면의 반폭치가 Sb 도핑과 함께 줄어드는 것을 통해 Edge과 Screw 전위의 감소와 photoluminescence 결과에서 450~500 nm 청색 파장 영역에서 발광의 세기가 현저히 줄어드는 것으로 보아 질소 공극이 감소되는 것이 홀농도 향상의 주된 원임임을 알 수 있었다. Trimethylantimony가 10 ${mu}mol/min$일 때 홀농도는 최대가 되었고 그때 홀농도는 $5.4{ imes}10^{17}cm^{-3}$이었다.
154.

졸-겔 방법을 이용한 LiMn2O4 박막 이차 전지 제작 및 전기화학적 특성 조사

이중한, 김광주, Lee. J.H., Kim. K.J. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.3 205-210 (6 pages)

이중한, 김광주, Lee. J.H., Kim. K.J. 저

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이용한 반전극(half cell) 전지를 제작하여 충전-방전 순환과정을 반복수행 하였고, 과정 시작 전후에 X-ray diffraction 및 Raman spectroscopy 측정을 통하여 과정 중 발생하는 박막의 구조적 성질 변화를 조사하였다. 순수한 $LiMn_2O_4$ 박막 전지의 경우 충전-방전 횟수가 증가함에 따라 방전 용량은 서서히 감소하여 300회에 이르러서는 초기 용량의 72%로 줄어들었다. 이와 같은 결과는 충전-방전 과정 중 스피넬 구조의 사면체 자리로부터 탈리되었다가 다시 삽입되는 $Li^+$ 이온 수의 감소 및 이에 따르는 $Mn^{4+}$ 이온 수...
155.

버퍼막 두께 및 버퍼막 열처리 온도에 따른 ZnO/b-ZnO/p-Si(111)의 전기적 특성 변화 및 이종접합 다이오드 특성 평가

허주회, 류혁현, Heo. Joo-Hoe, Ryu. Hyuk-Hyun 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.1 50-56 (7 pages)

허주회, 류혁현, Heo. Joo-Hoe, Ryu. Hyuk-Hyun 저

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ZnO 박막의 구조적, 전기적 특성 또한 연구되었다. X-ray diffraction (XRD) 방법을 이용하여 ZnO 박막의 구조적 특성을 측정하였고, semiconductor parameter analyzer를 이용하여 ZnO/b-ZnO/p-Si(111) 이종접합 다이오드의 I-V 특성을 평가하였다. XRD 분석 결과 버퍼막 열처리 온도 $700^{circ}C$, 버퍼막 두께 70 nm에서 ZnO 박막은 우세한 (002) 방향의 c-축 배향성을 갖는 육방정계(hexagonal wurtize) 결정 구조를 나타내었다. 전기적 특성인 운반자 농도, 비저항 값의 경우에는 버퍼막 열처리 온도 $700^{circ}C$, 버퍼막 두께 50...
156.

Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구

김수인, 이창우, Kim. Soo-In, Lee. Chang-Woo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.5 348-352 (5 pages)

김수인, 이창우, Kim. Soo-In, Lee. Chang-Woo 저

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소자 failure 등이 문제로 발생하게 되며, 또한 선폭이 줄어듦에 따라 고열이 발생하여 실리콘으로 spiking이 발생하게 된다. 이를 방지하기 위하여 본 논문에서는 질소와 탄소를 첨가한 3개의 화합물로 구성된 Tungsten-Carbon-Nitrogen (W-C-N) 확산방지막을 사용하였다. 실험은 물리적 기상 증착법(PVD)으로 질소비율을 변화하며 확산방지막을 증착하였고, 이를 여러 가지 온도에서 열처리하여 열적인 안정성에 대한 실험을 실시하였다. 결정구조를 확인하기 위하여 X-ray Diffraction 분석을 통하여 확산방지막의 특성을 연구하였다.
157.

Bi-Sr-Ca-Cu-O 계에서 초전도체 상형성 및 특성

남궁찬, 이상윤, Nam. Gung-Chan, Lee. Sang-Yun 한국재료학회 한국재료학회지 12 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.6 543-554 (12 pages)

남궁찬, 이상윤, Nam. Gung-Chan, Lee. Sang-Yun 저

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성분으로부터 solid state synthesis의 방법으로 합성하였다. 이때 이상에 대한 x-ray diffraction pattern은 모두 색인하였다. 2:2:1를 기본으로한 solid solution의 형성을 Bi2Sr2-xCa1+yCu2O8+$delta$으로 단일상(single phase)을 형성하고 있으며, 이때 x와 y의 범위는 0<x<0.3 그리고 0<y<0.3이다. 높은 임계온도의 초전도체상(2223)은 BiSrCaCu2Ox의 조성식으로부터 거의 순수한 상을 합성하였다. 이 상에 대한 합성조건은 특별히 구조상의 긴영역의 확산과 아울러 매우 좁은 온도영역의 안정성 때문에 매우 까다롭다....
158.

플라즈마 화학 증착법에 의한 $Y_2O_3-StabilzedZrO_2$박막의 제조와 Capacitance-Voltage특성

최후락, 윤순길, Choe. Hu-Rak, Yun. Sun-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.5 510-515 (6 pages)

최후락, 윤순길, Choe. Hu-Rak, Yun. Sun-Gil 저

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반응 기체로는 zirconium triflouracethylacetonate[Zr(tfacac) $[Zr(tfacac)_4]$, tri(2.2.6.6 tetramethy1-3, 5-heptanate) yttrium $[Y(DPM)_3]$과 oxygen gas를 사용하였다. X-ray diffraction(XRD)과 fourier Particle induced x-ray emission(PIXE)을 통하여 $Y(DPM)_3$ bubbling temperature가 $160^{circ}C, 165^{circ}C, 170^{circ}C$일때 $Y_2O_3$함량이 12.1mo1%, 20.4mol%, 31.6mol%임을 알 수 있었다. C-V측정에서 $Y(DPM)_3$ bubbling temperature가 증가함에 따라 flat band voltage가 더욱더 음의 방향으로 이동하였다.
159.

Bi-Sr-Ca-Cu-O계열 초전도체의 초구조

남궁찬, 이상윤, Nam. Gung-Chan, Lee. Sang-Yun 한국재료학회 한국재료학회지 12 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.3 268-279 (12 pages)

남궁찬, 이상윤, Nam. Gung-Chan, Lee. Sang-Yun 저

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$Bi_2S_2CaCu_2O_{8+x}$ (2212)의 x-ray 분말 pattern을 a=5.408, c=30.83 $AA$의 격자상수 및 역격자 벡터 $q^*=0.211b^*-c^*$을 갖는 pseudo tetragonal subcell을 이용하여 모두 index하였다. 임계온도 110K를 갖는 $Bi_2S_2CaCu_2O_{10+x}$ 상은 incommensurate supercell에 속하는 매우 많은 x-ray분말선들을 가지고 있다. Indixing guide로 전자회절사진(electron diffraction photographs)을 이용 x-ray분말 pattern에 대한 지수결정방법을 얻었다.$Bi_2S_2CaCu_2O_{10+x}$(2223)의 단위세표(unit cell)는 기하학적으로 격자상수...
160.

Hyperthermia Properties of Fe3O4 Nanoparticle Synthesized by Hot-injection Polyol Process

이성노, 고태준, 심인보, 심현주, Lee. Seong Noh, Kouh. Taejoon, Shim. In-Bo, Shim. Hyun Ju 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages

한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2014, Vol.24 No.2 51-55 (5 pages)

이성노, 고태준, 심인보, 심현주, Lee. Seong Noh, Kouh. Taejoon, Shim. In-Bo, Shim. Hyun Ju 저

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time에 변화를 주었다. 격자구조는 x-ray diffraction(XRD) 측정을 통해 Fd-3m 공간군을 갖는 cubic inverse spinel 구조로 분석되었으며, $Fe_3O_4$ 나노입자의 형상은 high-resolution transmission electron microscope(HR-TEM)으로 분석하였다. 반응물질을 각각 0.5분, 60분인 젝션시 각각 7.63 nm, 21.73 nm의 $Fe_3O_4$ 나노입자 사이즈를 얻을 수 있었다. $Fe_3O_4$ 나노입자의 자기적 특성은 다양한 온도에서 vibrating sample magnetometer(VSM)과 M$ddot{o}$ssbauer spectroscopy로 측정하였으며, hyperthermia 측정을 통해...

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