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161.

플라즈마 화학증착법에 있어 모재의 표면조도가 TiN 박막층의 밀착력에 미치는 영향에 관하여

강해용, 김문일, Kang. H.Y., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 11 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1991, Vol.4 No.2 27-37 (11 pages)

강해용, 김문일, Kang. H.Y., Kim. M.I. 저

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162.

R.F. PACD에 의하여 증착된 TiN의 경도와 밀착력에 미치는 모재 경도의 영향

김성기, 김문일, Kim. S.K., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 11 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1991, Vol.4 No.1 19-29 (11 pages)

김성기, 김문일, Kim. S.K., Kim. M.I. 저

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163.

PACVD로 증착된 TiN 박막의 밀착성에 관하여

신영식, 김문일, Shin. Y.S., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 8 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1990, Vol.3 No.1 17-24 (8 pages)

신영식, 김문일, Shin. Y.S., Kim. M.I. 저

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164.

플라즈마 화학증착법에서 증착변수가 TiN 증착에 미치는 영향(III) -r.f. power 및 전극간 거리를 중심으로-

김충환, 신영식, 김문일, Kim. C.H., Shin. Y.S., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 7 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1990, Vol.3 No.1 1-7 (7 pages)

김충환, 신영식, 김문일, Kim. C.H., Shin. Y.S., Kim. M.I. 저

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165.

플라즈마 화학증착법(PACVD)에 의한 TiN증착시 증착변수가 미치는 영향(II) -TiCl4, N2의 입력분율을 중심으로-

이병호, 신영식, 김문일, Rhee. B.H., Shin. Y.S., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 8 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1989, Vol.2 No.4 11-18 (8 pages)

이병호, 신영식, 김문일, Rhee. B.H., Shin. Y.S., Kim. M.I. 저

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166.

플라즈마 화학 증착법(PACVD)에 의한 TiN 증착시 증착변수가 미치는 영향(I) -증착온도를 중심으로-

신영식, 하선호, 김문일, Shin. Y.S., Ha. S.H., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 10 Pages

한국열처리공학회 열처리공학회지 1989, Vol.2 No.4 1-10 (10 pages)

신영식, 하선호, 김문일, Shin. Y.S., Ha. S.H., Kim. M.I. 저

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167.

HCD 이온플레이팅 장치 제작 및 Stainless Steel 위에 TiN 박막의 미세색상변화에 따른 XPS분석

박문찬, 이종근, 최광호, 차정원, 김응순, 박진홍, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Choi. Kwang-Ho, Cha. Jung-Won, Kim. Eung-Soon, Park. Jin-Hong 한국안광학회 한국안광학회지 6 Pages

한국안광학회 한국안광학회지 2010, Vol.15 No.4 361-366 (6 pages)

박문찬, 이종근, 최광호, 차정원, 김응순, 박진홍, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Choi. Kwang-Ho, Cha. Jung-Won, Kim. Eung-Soon, Park. Jin-Hong 저

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550 nm 파장근처에서의 반사율의 기울기가 대체적으로 점점 커지는 것을 알 수 있었다. 그리고 XPS를 사용하여 Ti scan 한 결과, $N_2$ 성분에서 유래된 458 eV의 조그마한 피크는 조금씩 더 들어가며 TiN 성분에서 유래된 455 eV의 큰 피크는 약간씩 커지는 것을 볼 수 있었다. 결론: 질소 가스양이 120 sccm인 TiN 박막에서는 표면에 있는 TiC 성분과 표면과 내부에 존재하는 $N_2$, TiN 성분으로 인해 은색과 금색의 혼합색으로 나타났으나, 질소 가스양이 증가함에 따라 TiN 성분이 다른 성분에 비해 점점 많아져 금색이 점점 진해진...
168.

UBM Sputtering System에 의한 안경테용 TiN막 제작에 있어 Oxygen 영향 연구

박문찬, 이종근, 주경복, 이화자, 김응순, 최광호, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Joo. Kyung-Bok, Lee. Wha-Ja, Kim. Eung-Soon, Choi. Kwang-Ho 한국안광학회 한국안광학회지 6 Pages

한국안광학회 한국안광학회지 2009, Vol.14 No.1 63-68 (6 pages)

박문찬, 이종근, 주경복, 이화자, 김응순, 최광호, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Joo. Kyung-Bok, Lee. Wha-Ja, Kim. Eung-Soon, Choi. Kwang-Ho 저

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위하여 XPS를 사용하였으며, 표면안쪽의 성분을 관찰하기 위해 depth profile을 하였다. 결과: XPS depth profile 데이터로부터 티타늄과 질소 뿐만 아니라 산소가 일정한 양으로 존재하며, 산소의 양은 약 65 at.%의 큰 양이 존재한다는 것을 알 수 있었다. 두께에 따른 색상변화는 세 개의 피크가 모여서 형성이 된 Ti $ 2p_{3/2}$ 피크의 모양이 두께에 따라 약간 다르다는 것을 알 수 있었다. 결론: 코팅 중에 산소가 섞여 순수한 TiN보다는 $ TiO_2$, TiN, $ TiO_{x}N_{y}$ 세가지 조합에 의해 색이 결정되는 것을 알 수 있었다.
169.

UBM Sputtering System에 의한 TiN막의 색상과 경도에 관한 연구

박문찬, 이종근, 주경복, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Joo. Kyung-Bok 한국안광학회 한국안광학회지 6 Pages

한국안광학회 한국안광학회지 2009, Vol.14 No.1 57-62 (6 pages)

박문찬, 이종근, 주경복, Park. Moon-Chan, Lee. Jong-Geun, Joo. Kyung-Bok 저

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금색, 시간이 지남에 따라 어두운 금색, 연보라, 남색으로 바뀌었다. 두께에 따른 박막의 색상변화는 박막에$TiO_{x}N_{y}$, $TiO_2$, TiN과 같은 세가지 화합물의 조성변화에 기인함을 알 수 있었으며,$ TiO_{x}N_{y}$의 조성변화가 두께에 따른 색상변화에 가장 큰 영향을 미치는 것을 여겨졌다. 결론: TiN박막의 비커스 경도가 TiN의 일반적인 경도보다 수치가 작은 것은 박막이 TiN, $TiO_2$,$TiO_{x}N_{y}$ 세가지 물질 섞여 있기 때문이라고 여겨지며, 두께에 따른 박막의 경도가 점점 커지다가 줄어드는 것은 두께에 따른 TiN 양과...
170.

이온빔 보조 증착에 의한 TiN 박막의 특성

김상현, 김대현, Kim. Sang Hyun, Kim. Dae Hyeon 한국안광학회 한국안광학회지 6 Pages

한국안광학회 한국안광학회지 2004, Vol.9 No.1 161-166 (6 pages)

김상현, 김대현, Kim. Sang Hyun, Kim. Dae Hyeon 저

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본 연구에서는 이온빔 증착방법을 사용하여 스테인레스 스틸 기판 위에 TiN 박막을 성장하였다. $10^{-5}$ Torr의 질소 분위기에서 아르곤 가스를 보조 이온빔으로 사용하여 TiN 박막을 성장하였다. TiN 박막의 화학 조성, 색상, 밀착력 등을 En의(원자당 이용에너지) 변화에 따라서 측정하였다. En이 증가 할 때 질소와 Ti의 비율은 선형적으로 변화 하였고, 높은 En의 경우에는 질소와 Ti의 비율은 1.2를 가지며 포화되었다. 밝은 금색은 En이 어떤 임계값(Ecn)에 도달 하였을 때 얻어졌다. 이때의 질소와 Ti의 비율은 0.9 이다.

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