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높은 열처리 온도를 갖는 GOI 웨이퍼의 직접접합
변영태, 김선호, Byun. Young-Tae, Kim. Sun-Ho 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2006, Vol.16 No.10 652-655 (4 pages)
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실리콘 함유 DLC 박막의 내열특성
김상권, 김성완, Kim. Sang-Gweon, Kim. Sung-Wan 한국열처리공학회 열처리공학회지 7 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 2010, Vol.23 No.2 83-89 (7 pages)
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원거리 플라즈마 화학기상증착법을 사용하여 증착한 비정질 탄화규소 막의 증착조건에 따른 특성 및 증착 균일도 변화
조성혁, 최유열, 최두진, Cho. Sung-Hyuk, Choi. Yoo-Youl, Choi. Doo-Jin 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2010, Vol.47 No.3 262-267 (6 pages)
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기공형성에 의한 SiOCH 박막의 유전 특성
김종욱, 박인철, 김홍배, Kim. Jong-Wook, Park. In-Chul, Kim. Hong-Bae 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체및디스플레이장비학회지 5 Pages
한국반도체및디스플레이장비학회 반도체및디스플레이장비학회지 2009, Vol.8 No.3 19-23 (5 pages)
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플라즈마 화학기상증착에 의해 성장된 유사 다이아몬드 나노복합체 박막의 특성 평가
양원재, 오근호 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2003, Vol.13 No.1 36-40 (5 pages)
$CH_4/(C_2H_5O)_4Si/H_2$/Ar가스 혼합물을 출발 반응원료로 하여 플라즈마 화학기상증착법으로 Si 기판 위에 유사 다이아몬드 나노복합체(diamond-like nanocomposite, DLN) 박막을 증착하였다. 성장된 막의 화학구조와 미세구조를 확인하였으며 막의 마모특성을 평가하였다. 증착된 DLN 막은 다이아몬드와 유사한 a-C:H 구조와 실리카와 유사한 a-Si:O 구조가 네트워크 형태로 구성되어 있음을 확인하였으며 극도로 낮은 마모계수와 마모속도를 나타내어 내마모 코팅용 보호막으로 의 응용에 적합한 것으로 나타났다. -
SiH4/H2 혼합기체를 Multistep 방식으로 증착한 수소화된 실리콘 박막의 특성 연구
김태환, 김동현, 이호준, Kim. Taehwan, Kim. Dong-Hyun, Lee. Ho-Jun 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 7 Pages
대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2014, Vol.63 No.2 250-256 (7 pages)