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351.

열 화학기상증착법을 이용한 탄화규소 나노선의 합성 및 특성연구

정민욱, 김민국, 송우석, 정대성, 최원철, 박종윤, Jung. M.W., Kim. M.K., Song. W., Jung. D.S., Choi. W.C., Park. C.J. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.4 307-313 (7 pages)

정민욱, 김민국, 송우석, 정대성, 최원철, 박종윤, Jung. M.W., Kim. M.K., Song. W., Jung. D.S., Choi. W.C., Park. C.J. 저

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탄화규소 나노선(SiC nanowire)을 합성하였다. 합성 온도와 $CH_4$ 가스 유량 변화에 따른 탄화규소 나노선의 구조적 특성을 분석한 결과, 합성온도가 $1,400^{circ}C$, $CH_4$ 가스의 유량이 300 sccm인 경우가 탄화규소 나노선의 합성에 최적화된 조건임을 라만 분광법(Raman spectroscopy)과 X-선 회절(X-ray diffraction), 주사전자현미경(scanning electron microscopy), 그리고 투과전자현미경(transmission electron microscopy) 분석을 통해 확인하였다. 합성된 탄화규소 나노선의 직경은 약 50~150 nm이며, 곧은 방향성과 높은...
352.

수열합성법으로 성장된 산화아연 나노막대의 특성 및 열처리 효과

전수민, 김민수, 김군식, 조민영, 최현영, 임광국, 김형근, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Jeon. Su-Min, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Cho. Min-Young, Choi. Hyun-Young, Yim. Kwan 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.4 293-299 (7 pages)

전수민, 김민수, 김군식, 조민영, 최현영, 임광국, 김형근, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Jeon. Su-Min, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Cho. Min-Young, Choi. Hyun-Young, Yim. Kwan 저

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온도로 20분 동안 열처리하였다. X-ray diffraction (XRD), field-emission scanning electron microscopy (FE-SEM), photoluminescence (PL)를 이용하여 열처리한 산화아연 나노막대의 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. 모든 산화아연 나노막대 시료에서 c-축 배향성을 나타내는 강한 ZnO (002) 회절 피크와 약한 ZnO (004) 회절 피크가 나타났다. 열처리 온도가 증가함에 따라 산화아연 나노로드의 residual stress는 compressive에서 tensile로 변하였다. Hexagonal 형태의 산화아연 나노로드를 관찰하였다. 산화아연 나노로드의 PL...
353.

수열합성법으로 성장된 ZnO 나노막대의 전구체 농도에 따른 구조적 및 광학적 특성

조민영, 김민수, 김군식, 최현영, 전수민, 임광국, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Cho. Min-Young, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Choi. Hyun-Young, Jeon. Su-Min, Yim. Kwang-Gu 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.3 236-241 (6 pages)

조민영, 김민수, 김군식, 최현영, 전수민, 임광국, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Cho. Min-Young, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Choi. Hyun-Young, Jeon. Su-Min, Yim. Kwang-Gu 저

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수열합성법을 이용하여 전구체 용액 농도에 따라 성장된 ZnO 나노막대의 특성에 대한 연구를 수행하였다. ZnO 씨앗층은 sol-gel법으로 코팅하였고, 그 위에 ZnO 나노막대는 전구체 용액 농도를 0.01 M에서 0.3 M로 변화하여 성장시켰다. FE-SEM (field-emission scanning electron microscopy), XRD (X-ray diffraction), PL (photoluminescence)을 사용하여 ZnO 나노막대의 특성 변화를 분석하였다. 전구체 용액의 농도가 증가함에 따라 ZnO 나노막대의 직경과 길이가 증가하였으며 광학적 특성이 향상되었다.
354.

스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 나노 섬유질 박막의 전구체 농도에 따른 표면 및 광학적 특성

김민수, 김군식, 임광국, 조민영, 전수민, 최현영, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Yim. Kwang-Gug, Cho. Min-Young, Jeon. Su-Min, Choi. Hyun-Youn 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.6 483-488 (6 pages)

김민수, 김군식, 임광국, 조민영, 전수민, 최현영, 이동율, 김진수, 김종수, 이주인, 임재영, Kim. Min-Su, Kim. Ghun-Sik, Yim. Kwang-Gug, Cho. Min-Young, Jeon. Su-Min, Choi. Hyun-Youn 저

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광학적 특성 변화를 scanning electron microscopy (SEM)와 photoluminescence (PL)을 이용하여 측정하였다. 전구체 농도가 0.4 mol (M) 이하 일 때는 성장률이 낮아 ZnO 핵생성만이 되었고, 0.6 M 이상일 때 ZnO 박막은 나노섬유질 구조가 되었다. 전구체 농도가 더욱 증가함에 따라 ZnO 나노 섬유질의 굵기가 굵어졌고 ZnO 박막의 두께도 단계적으로 두꺼워졌다. 전구체 농도가 증가함에 따라 ZnO 나노 섬유질 박막의 photoluminescence (PL)의 근밴드가장자리 광방출(near-band-edge emission) 피크 세기와 full-width at half-maximu...
355.

수열합성 법으로 성장된 산화 아연 나노로드의 전구체 농도에 따른 구조적, 광학적 특성 연구

류혁현, Ryu. H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.1 73-78 (6 pages)

류혁현, Ryu. H. 저

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$500^{circ}C$ 에서 증착 시킨 후, 그 위에 산화 아연 나노로드를 수열합성법을 이용하여 성장시켰다. 그리고 산화아연 나노로드 성장 시 0.02몰${sim}$0.5몰의 다양한 농도의 전구체를 사용함으로써 그에 따라 변화되는 산화 아연 나노로드의 배열상태, 구조적, 그리고 광학적 특성 평가를 실시하였다. 특성 평가는 FE-SEM(field emission scanning electron microscopy), XRD(X-ray diffraction), 그리고 PL(photoluminescence) 등의 분석 방법들을 통해 이루어졌다 본 연구를 통하여 전구체의 농도가 증가할수록 나노로드의 직경과...
356.

PEALD 장치 제작 및 Co박막 증착

이두형, 노승정, Lee. D.H., Noh. S.J. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.2 110-115 (6 pages)

이두형, 노승정, Lee. D.H., Noh. S.J. 저

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ALD와 PEALD를 이용하여 기판온도 $230^{circ}C$에서 p-type Si(100)기판 위에 Co박막을 증착하였다. 이때, $Co_{2}(CO)_{6}$을 Co전구체로, 암모니아를 반응가스로, 아르곤을 캐리어(carrier) 및 퍼지(purge)가스로 사용하였다. 증착된 Co박막의 구성성분과 박막의 두께를 auger electron spectroscopy(AES)와 field emission scanning electron microscopy(FESEM)을 이용하여 분석하였다. ALD와 PEALD를 이용하여 증착된 Co박막에서 모두 불순물이 발견되었는데, PEALD의 경우 ALD에 비해 불순물의 양이 약 반으로 감소되었다. 암모니아...
357.

InP/InGaAs/InP 분포귀환형 회절격자 위에 성장된 InAs/InAlGaAs 양자점의 구조적.광학적 특성

곽호상, 김진수, 이진홍, 홍성의, 최병석, 오대곤, 조용훈, Kwack. H.S., Kim. J.S., Lee. J.H., Hong. S.U., Choi. B.S., Oh. D.K., Cho. Y.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.3 294-300 (7 pages)

곽호상, 김진수, 이진홍, 홍성의, 최병석, 오대곤, 조용훈, Kwack. H.S., Kim. J.S., Lee. J.H., Hong. S.U., Choi. B.S., Oh. D.K., Cho. Y.H. 저

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이용하여 분포귀환형 (distributed feed back) InP/InGaAs/InP 회절격자 구조를 제작하고 원자력간현미경 (atomic force microscopy)과 주사전자현미경 (scanning electron microscopy) 실험을 통해 표면 및 단면을 분석하였다. 그 위에 분자선증착기(molecular beam epitaxy)법을 이용하여 자발형성 (self-assembled) InAs/InAlGaAs 양자점 (quantum dot)을 성장하고, 광학적 특성을 온도변화 광여기 발광 (photoluminescence)으로 회절격자 구조 없이 성장한 양자점 시료와 비교 분석하였다. 회절격자의 간격 대비 폭의 비가 약 30%인...
358.

탐침형 정보 저장장치에 응용 가능한 강유전체 물질의 특성 연구

최진식, 김진수, 황인록, 변익수, 김수홍, 전상호, 이진호, 홍사환, 박배호, Choi. J.S., Kim. J.S., Hwang. I.R., Byun. I.S., Kim. S.H., Jeon. S.H., Lee. J.H., Hong. S.H., Park. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.2 173-179 (7 pages)

최진식, 김진수, 황인록, 변익수, 김수홍, 전상호, 이진호, 홍사환, 박배호, Choi. J.S., Kim. J.S., Hwang. I.R., Byun. I.S., Kim. S.H., Jeon. S.H., Lee. J.H., Hong. S.H., Park. 저

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기판위에 동일한 조건으로 증착된 $LaMnO_3$ (LMO) 산화물을 하부 전극으로 하여 증착시간을 변화시키며 증착하였다. High-resolution x-ray diffraction 결과를 통해 LMO 하부 전극과 PZT 박막이 방향성 있게 자란 것을 확인할 수 있었고 박막의 두께는 field-emission scanning electron microscope을 통하여 측정할 수 있었다. 또한 우리는 atomic force microscopy을 이용하여 박막의 표면 거칠기를 구하였고 국소적인 범위의 전기적 특성은 piezoelectric force microscopy 모드를 이용하여 측정하였다. 그 결과 PZT/LMO 구조는 나노...
359.

이온빔 나노 패터닝을 위한 양극산화 알루미나의 이온빔 투과

신상원, 이종한, 이성구, 이재용, 황정남, 최인훈, 이관희, 정원용, 문현찬, 김태곤, 송종한, Shin. S. W., Lee. J-H, Lee. S. G., Lee. J., Whang. C. N., Choi. I-H, Lee. K. H., Jeung. W. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.1 97-102 (6 pages)

신상원, 이종한, 이성구, 이재용, 황정남, 최인훈, 이관희, 정원용, 문현찬, 김태곤, 송종한, Shin. S. W., Lee. J-H, Lee. S. G., Lee. J., Whang. C. N., Choi. I-H, Lee. K. H., Jeung. W. 저

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투과하지 못하였다. 반면에 $SiO_2$ 위에 증착된 Al 박막으로 양극산화하여 종횡비가 5:1인 AAO의 이온빔 투과율은 0.67로 투과율이 현저히 향상되었다. 높은 종횡비를 갖는 AAO의 경우에는 범과 AAO 기공의 정렬이 쉽지 않은데다 알루미나의 비전도성으로 인한 charge-up 현상으로 인해 이온빔이 극히 투과하기 어렵기 때문이다. 실제로 80 keV의 Co 음이온을 종횡비 5:1인 AAO에 조사시킨 후에는 AAO 나노기공과 동일한 크기의 나노 구조체가 형성됨을 주사전자현미경(scanning electron microscopy: SEM) 관찰을 통하여 확인하였다.
360.

박막형 $ZnGa_2O_4:Mn$ 산화물 형광체의 음극선루미느센스와 구조적 특성에 관한 연구

김주한, Kim. Joo-Han 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.5 541-546 (6 pages)

김주한, Kim. Joo-Han 저

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본 연구에서는 박막형 $ZnGa_2O_4:Mn$ 산화물 형광체의 음극선루미느센스 특성과 구조적 성질에 대하여 field emission scanning electron microscopy (FESEM), atomic force microscopy (AFM), photoluminescence (PL), 그리고 cathodoluminescence (CL) 방법을 이용하여 조사하였다. $ZnGa_2O_4:Mn$ 형광체 타겟으로부터 $Mn^{2+}$ 이온의 $^4T_1{ ightarrow}^6A_1$ 전이에 의한 506nm 파장에서의 PL emission 스펙트럼이 관찰되었다. 색좌표는 x = 0.09, y = 0.67 이었다. $ZnGa_2O_4:Mn$ 박막의 여기 스펙트럼은 $Mn^{2+}$ 이온...

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