학지사 뉴논문

61.

ITO와 ZnO:Al 투명전도막의 전기적 특성 및 PDP 셀의 휘도 특성

곽동주, Kwak. Dong-Joo 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 8 Pages

한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2006, Vol.20 No.7 6-13 (8 pages)

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각 종 전자 디바이스의 투명전도막으로 많이 사용되는 ITO 및 ZnO:Al 박막을 스퍼터링법에 의해 제작하였다. 가스압력 및 기판온도 등의 최적조건하에서 제작된 ITO 및 ZnO:Al 박막은 각각 $1.67{ imes}10^{-3}[{Omega}-cm]$ 및 $2.2{ imes}10^{-3}[{Omega}-cm]$의 비저항율과 89.61[%] 및 90.88[%]의 가시광 영역에서의 광투과율을 나타내었다. ZnO:Al과 ITO 투명전극을 이용하여 5인치의 PDP 셀을 동일한 제조조건하에서 제작하였다. ZnO:Al의 경우 Ne(base)-Xe(8%)의 가스 혼합비, 그리고 400[Torr]의 압력조건에서 가장 잘...

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