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증착 후 열처리 온도에 따른 In2O3 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화
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  • 증착 후 열처리 온도에 따른 In2O3 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화
저자명
이영진,이학민,허성보,김유성,채주현,공영민,김대일,Lee. Y.J.,Lee. H.M.,Heo. S.B.,Kim. Y.S.,Chae. J.H.,Kong. Y.M.,Kim. Daeil
간행물명
열처리공학회지
권/호정보
2011년|24권 6호|pp.307-310 (4 pages)
발행정보
한국열처리공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have investigated the structural, electrical and optical properties of $In_2O_3$ thin films deposited by RF magnetron sputtering and then annealed at $150^{circ}C$ and $300^{circ}C$ in vacuum. The structural and electrical properties are strongly related to annealing temperature. All the annealed $In_2O_3$ films are grown as a hexagonal wurtzite phase and the largest grain size is observed in the films annealed at $300^{circ}C$. The sheet resistance decreases with a increase in annealing temperature and $In_2O_3$ film annealed at $300^{circ}C$ shows the lowest sheet resistance of $174{Omega}/{Box}$. The optical transmittance of $In_2O_3$ films in a visible wavelength region also depends on the annealing temperature. The films annealed at $300^{circ}C$ show higher transmittance of 76% than those of the films prepared in this study.