- MOSFET에서 저주파잡음의 산화막 두께 의존성 관한 실험적 연구
- ㆍ 저자명
- 최세곤
- ㆍ 간행물명
- 電子工學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1982년|19권 1호|pp.9-13 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
본실험에서는 N형 Si기판 내부에 P+소오스, 드레인 영역동 마련하고 게이트전극으로서는 PH₃ 를 첨가한 구조로서 Poly-Si gate MOSFET를 제작하여 이에 대한 잡음 특성에 관해 고찰하였다. 실험결과 게이트 면적이 일정하고 막두께가 비교적 두꺼울때는 W/L비 1이상에서는 잡음이 정감되는 경향으로 대체로 이론에 일치하지만 1이하에서는 막두께에 따른 변화는 완만하다는 것이 실증되었다.
The purpose of this experiment is to evaluate the noise dependency on the gate dimensions of the P-ch MOSFET which is fabricated of p+ sourse, drain, and gate electrode doped with PH$_3$ gas in type-N Si sudstrate. Experimental results indicate that: for the constant gate area and reletively thick films, noise level tends to decrease for the W/L ratio over unity, which generally conforms with theoretical observations, but its variation with the change in the thickness of film is less than the theoretically predicted for the W/L ratio below unity.