오늘날 전자현미경의 급속한 발전 및 이에 의한 파면해석의 수많은 연구결과에 의해 파괴의 정성적인 연구로부터 정량적인 연구로 발전하게 되었고, 또한 일부의 파면모양은 균열 또는 결합선단의 파괴역학적(fracture mechanics)연구의 진전과 함께 파괴역학의 파라메타로서 정량적으로 정리할 수 있게 되어 실험적 증거를 제공하는 것으로 중요시되고 있다. 본고에서는 전자현미경에 의한 파면해석을 중심으로 기술하고, 이것이 파괴원인 규명의 미시조직학적 및 파괴역학적 검토에 어떻게 이용되고 있는가를 설명하였다.