- 엑사이머.레이저의 연구와 응용
- ㆍ 저자명
- 이주희
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1984년|33권 6호|pp.322-328 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본고의 내용은 다음과 같다. 1. 엑사이머.레이저 여기과정 2. 엑사이머.레이저의 대출력화 2.1 전자빔 여기레이저 2.2 방전여기 레이저 2.3 Blue-Green레이저 3. 엑사이머.레이저의 산업계응용 3.1 미세처리 가공 3.2 재료의 정제.합성 4. 전망