- Si-$SiO_2$계의 문제점과 연구동향
- ㆍ 저자명
- 성영권
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1985년|34권 6호|pp.366-371 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Si-SiO$_{2}$계 및 다중막계의 개황과 문제점을 들어 개설하였으나 대부분의 경우 종해 생각하고 있던 모델들이 차츰 실증되어가는 단계에 있다. 그러나 이들 계는 원자적인 척도에서는 완전한 연적체라고 볼수 없고 여러 결함이 개재되어 있으므로 금후에도 술시적인 견지에서 이들의 결함구조와 각계면구조를 명확히 해 나갈 노력이 필요하다.