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INTEGRATED MAGNETIC SENSORS: AN OVER VIEW
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  • INTEGRATED MAGNETIC SENSORS: AN OVER VIEW
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저자명
Cristolovenau. Sorin
간행물명
電子工學會雜誌
권/호정보
1986년|13권 1호|pp.86-95 (10 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The basic physical principles involved in the operation of monolithic magnetic sensors are reviewed and technological aspects outlined. More or less conventional devices based on Hall effect, magnetoresistance or current path deflection are described. It is shown that such sensors with 2, 3, 4 or 5 terminal contacts are achievable with standard silicon integrated circuit process. Several kinds of magnetodiodes (p+nn+,p+n, Schottky, MOS, memory, CMOS) have been fabricated on Si and on SOS films and present attractive properties. Finally, the magneto-transistor family is discussed with emphasis to split-terminals, CMOS, unijunction and fila-mentary devices.