- 표면분석 기술의 반도체 응용(I)
- ㆍ 저자명
- 백문철,이중환,권오준,Baek. Mun-Cheol,Lee. Jung-Hwan,Gwon. O-Jun
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1986년|8권 4호|pp.161-174 (14 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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반도체 공정 기술에 있어서 재료 및 표면분석의 역할에 대하여 고찰하였다. 최근에 개발된 신 분석기술을 포함한 일반적인 분석 방법에 대하여 그 측정원리 및 특징을 언급하고 반도체 단위공정별로 표면 분석기술이 이용되는 분야를 조사하였다. 그리고 앞으로 반도체 기술발전을 위한 표면분석의 역할을 논하였다.