- Langmuir-Blodgett법과 Resist재
- ㆍ 저자명
- 강도열
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1987년|36권 2호|pp.108-116 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본고의 내용은 다음과 같다. 1. LB막의 구축법 1.1 LB막이란 1.2 LB막의 제작과 장치 1.3 수상의 성질 2. LB법의 특징 3. LB막의 응용성과 resist의 기능성 3.1 LB막의 응용성 3.2 LB막 resist의 기능성 3.3 resist의 재료개발