- 전기.전자산업용 감광성 고분자 포코레지스트
- ㆍ 저자명
- 안광덕
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1987년|36권 3호|pp.172-182 (11 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본고의 내용은 다음과 같다. 1. 전기.전자 산업용 고분자 재료 2. 감광성 고분자 3. 감광성 고분자의 용도 4. 포토레지스트(Photoresist) 5. 필름 포토레지스트(Dry Film Photoresist) 6. 광미세가공(Photolithography) 7. 반도체 미세가공용 포토레지스트