- SOI 제조기술 동향
- ㆍ 저자명
- 마대영,김진섭,곽병화,Ma. Dae-Yeong,Kim. Jin-Seop,Gwak. Byeong-Hwa
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1987년|9권 1호|pp.146-157 (12 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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SOI(Silicon-On-Insulator)는 차세대 VLSI 구조로서 최근 중요한 연구개발 대상이 되고 있다. SOI의 제조기술을 크게 recrystallization, ELO, FIPOS 및 SIMOX로 나누고 이들 각 기술에 대한 고찰을 하였다. 향후 전반적인 SOI 제조기술 개발방향은 SOI면적 확장 및 결함 감소를 위한 것이 될 것이다.