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진공기술
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저자명
정광화
간행물명
전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
권/호정보
1988년|37권 7호|pp.36-47 (12 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

진공기술은 발생기술, 측정기술 및 응용기술로 대별할 수 있겠다. 응용기술은 그 범위가 너무 넓고 그 분야에 따라 나름대로의 별도 기술이나 기존기술이 필요하므로 여기서 다루기는 불가능하다. 그러나 어느 응용분야이건 중요한 관건은 진공자체이므로 발생기술과 측정기술에 대해서만 간단히 소개한다.