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Energy Calibration of ESCA Spectrum for the Copper in the Interface of Copper and Cordierite
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  • Energy Calibration of ESCA Spectrum for the Copper in the Interface of Copper and Cordierite
  • Energy Calibration of ESCA Spectrum for the Copper in the Interface of Copper and Cordierite
저자명
Han. Byoung-Sung
간행물명
전자공학회논문지
권/호정보
1988년|25권 1호|pp.27-32 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electron Spectroscopy for Chemical Analysis(ESCA) allowes the determination of the elemental composition and the bonding state of the surface atomes in the interface between two materials. In the binding energies of ESCA spectrum, there are zero error, voltage scaling error and random error. Accurate analysis of the intensity energy response functions and accurate calibration of the energy scale are essential to use X-ray photoelectron spectron meter. At the results of the calibration of the ESCA spectra in the copper and cordierite (Mg2Al4Si5kO18) interfaces, the errors relative to the copper are -3.03 eV for the zero error -z,-197 ppm for the voltage scaling error -V and 6.9 meV for the random error -R. The method of the calibration is able to apply for the binding energy calibration of the another ESCA spect