- RSB를 이용한 As 이온 주입된 실리콘 시료분석
- ㆍ 저자명
- 이상환,권오준,이원형,Lee. Sang-Hwan,Gwon. O-Jun,Lee. Won-Hyeong
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|10권 3호|pp.242-246 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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반도체 소자에서 $N^+$ 접합에 이용되는 As 이온주입된 시편을 RBS(Rutherford backscattering spectrometry)법으로 분석하였다. Random 스펙트럼으로부터 $R_p$, $DeltaR_p$, As의 최대농도를 구하고 channeled 스펙트럼으로부터 이온 주입에 의한 결정 손상층의 두께와 열처리 후 interstitial site에서 substitutional site로 치환된 As의 비를 구하였다.