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화학증착법에 의한 PbTiO3박막의 조성분석 및 전기적성질에 관한 연구
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  • 화학증착법에 의한 PbTiO3박막의 조성분석 및 전기적성질에 관한 연구
저자명
이혜용,윤순길,김호기
간행물명
요업학회지
권/호정보
1989년|26권 5호|pp.670-676 (7 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The PbTiO3 is well known materials having remarkable ferroelectric, piezoelectric, and pyroelectric properties. PbTiO3 thin films with a perovskite structure were successfully fabricated on titanium substrate by chemical vapor deposition. These films were characterized according to composition, crystal structure, and electrical properties. Semi-quantitative compositional analysis of the deposited films was made by Auger Electron Spectroscopy(AES). The PbTiO3 film deposited on titanium substrate at the deposition temperature 75$0^{circ}C$, the Ti(C2H5O)4 fraction 0.15, and O2 partial pressure 0.06atm, has a columnar structure and grows with(001) preferred orientation, and has stoichiometric composition. A clear dielectric transition and offset in the dc conductivity near the transition temperature(48$0^{circ}C$) were observed in the deposited lead titanate film.