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Si결정에서의 격자결함의 특성 및 고분해능 투과전자현미경에 의한 격자상
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  • Si결정에서의 격자결함의 특성 및 고분해능 투과전자현미경에 의한 격자상
저자명
조경익,권오준,강상원,Jo. Gyeong-Ik,Gwon. O-Jun,Gang. Sang-Won
간행물명
전자통신동향분석
권/호정보
1989년|4권 4호|pp.98-107 (10 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

실제의 결정은 이상적인 결정과는 달리 결함(imperfection or defect)들을 포함하고 있다. 본고에서는 이들 여러가지 결함들 중 격자 결함들에 국한해서, 그 기본적인 특성과 Si 격자에서의 이들 결함들의 구조를 살펴보고, 이것들을 고분해능 전자현미경(High Resolution Transmission Electron Microscopy ; HRTEM or HREM)으로 관찰했을 때, HRTEM의 탈초점 (defocus)에 따른 결함 상(image)의 성질의 변화와 함께 상 특성과 격자구조와의 관계를 살펴보았다.