- TbFe 스퍼터박막의 두께 및 조성분포 계산
- Calculation of Thickness and Composition Profiles of Sputtered TbFe Thin Films
- ㆍ 저자명
- 박종철,김순광
- ㆍ 간행물명
- 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1990년|3권 2호|pp.131-137 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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