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수직형 LPE에 의한 InGaAsP($1.3{mu}m$)/InP 다층박막 결정성장
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  • 수직형 LPE에 의한 InGaAsP($1.3{mu}m$)/InP 다층박막 결정성장
  • The Thin Multi-Layer Crystal Growth of InGaAsP($1.3{mu}m$)/InP bgy Vertical LPE System
저자명
홍창희,조호성,오종환,김경식,김재창
간행물명
韓國航海學會誌
권/호정보
1990년|14권 2호|pp.77-82 (6 pages)
발행정보
한국항해항만학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper the results for thin multi-layer InGaAsP($1.3{mu}m$)/InP crystal growth by vertical liquid epitaxial growing furnance have been presented. The growth rates of InGaAsP layer and InP layer at cooling rate of $0.3^{circ}C$/min and the growing temperature of $630^{circ}C$ were obtained as $0.11 {mu}m$/min and $0.06 {mu}m$/min, respectively, by the uniform cooling with two phase solution technique.