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Low Energy Ion-Surface Reactor
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저자명
Choi. Won-Yong,Kang. Tae-Hee,Kang. Heon
간행물명
Bulletin of the Korean Chemical Society
권/호정보
1990년|11권 4호|pp.290-296 (7 pages)
발행정보
대한화학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Ion-surface collision studies at low kinetic energies (1-100 eV) provide a unique opportunity for investigating reactions and collision dynamics at surfaces. A special ion optics system for generating an energy- and mass-selected ion beam of this energy is designed and constructed. An ultrahigh vacuum (UHV) reaction chamber, in which the ions generated from the beamline collide with a solid surface, is equipped with Auger electron spectroscopy (AES) and thermal desorption spectrometry (TDS) as in-situ surface analytical tools. The resulting beam from the system has the following characteristics : ion current of 5-50 nA, energy spread < 2eV, current stability within ${pm}5%,$ and unit mass resolution below 20 amu. The performance of the instrument is illustrated with data representing the implantation behavior of $Ar^+$ into a graphite (0001) surface.