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비접촉 방법에 의한 표면탄성파의 검출
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  • 비접촉 방법에 의한 표면탄성파의 검출
  • A Study on the Detection of Surface Acoustic Waves by Noncontact Method
저자명
유일현,윤정심,김동일,You. I.H.,Yoon. J.S.,Kim. D.I.
간행물명
비파괴검사학회지
권/호정보
1990년|10권 2호|pp.56-62 (7 pages)
발행정보
한국비파괴검사학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Surface Acoustic Waves(SAW) are generated on silicon wafer and $YZ-LiTaO_3$ substrate and are detected by noncontact method. As wave sources two kinds of transducers are used : the wedge-type of 20.0 MHz and fabricated Interdigital Transducer(IDT) of 20.8 MHz. SAW are modulated by the optical chopper frequency and are syncronized with a laser beam. In signal processing, intensity variations of light due to the intensity of SAW are analyzed using lock- in amplifier. From the results, corresponding to the applied input power, the intensity variations of a deflected light by corrugations on the substrates are increased and saturation phenomenon is observed.