- S확산에 의한 $n^+-p^+$ InP 태양전지의 제작
- ㆍ 저자명
- 정기웅,김선태,문동찬,Jung. Ki-Ung,Kim. Seon-Tai,Moon. Dong-Chan
- ㆍ 간행물명
- 태양에너지
- ㆍ 권/호정보
- 1990년|10권 3호|pp.60-65 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국태양에너지학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
[ $p^+$ ]형의 InP 기판($p=4{ imes}10^{18}cm^{-3}$)에 일정 온도에서 S를 열 확산시켜 $n^+-p^+$ 접합을 형성하고, $n^+$형 측에 사진식각법으로 폭 $20{mu}m$의 표면 격자상 전극을 $300{mu}m$ 간격으로 형성한 후, 반사방지(AR) 막으로 $600{AA}$ 두께의 SiO 박막을 증착시켜 크기 $5{ imes}5{ imes}0.3mm^3$의 $n^+-p^+$ InP 동종접합 태양전지를 제작하였다. S의 접합깊이는 약 $0.4{mu}m$이었으며, 제작된 태양전지는 확산시간이 증가함에 따라 단락전류($J_{sc}$)가 증가하였고, 충진율(F.F)이 감소하였으며, 직렬저항($R_s$)과 에너지 변환효율(${eta}$)이 증가하는 경향을 나타냈다. $5,000-9,000{AA}$의 파장 영역에서 양호한 분광감도 특성을 나타냈으며, 단락전류, 개방전압($V_{oc}$), 충진율, 에너지 변환효율이 각각 $13.16mA/cm^2$, 0.38V, 53.74%, 10.1%인 태양전지를 제작하였다.
[ $n^+-p^+$ ] InP homojunction solar cells were fabricated by thermal diffusion of sulphur into a $p^+$-InP wafer($p=4{ imes}10^{18}cm^{-3}$), and a SiO film($600{AA}$ thick) was coated on the $n^+$ layer as an antireflection(AR) coating by an e-beam evaporator. The volume of the cells were $5{ imes}5{ imes}0.3mm^3$. The front contact grids of the cells with 16 finger pattern of which width and space were $20{mu}m$ and $300{mu}m$ respectively, were formed by photo-lithography technique. The junction depth of sulphur were as shallow as about 0.4r m We found out the fabricated solar cells that, with increasing the diffusion time, short circuit current densities($J_{sc}$), series resistances($R_s$) and energy conversion efficiencies(${eta}$) were increased. The cells show good spectral responses in the region of $5,000-9,000{AA}$. The short circuit current density, the open circuit voltage( $V_{oc}$), the fill factor(F.F) and the energy conversion efficiency of the cell were $13.16mA/cm^2$, 0.38V, 53.74% and 10.1% respectively.