- Off-Axis RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 고온 초전도 박막의 제조
- ㆍ 저자명
- 성건용,서정대,강광용,장순호
- ㆍ 간행물명
- 요업학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1991년|28권 3호|pp.243-251 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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High-Tc YBa2Cu3O7-x superconducting thin films have been prepared by single-target off-axis RF magnetron sputtering. Optimal ratio of Y : Ba : Cu of the single-target was determined as 1 : 1.65 : 3.35 in order to obtain the stoichiometric films. Tc, crystalline phase, and microstructures of the surface and cross-section of the ex-situ YBa2Cu3O7-x thin films on MgO(100) had a Tc, zero of 80K, and the films on LaAlO3/Si had a Tc, on-set of 90 K and a Tc, zero of 70 K.