- $128^{circ}$ Y Cut $LiNbO_3$단결정의 조성비 변화에 따른 SAW특성변화
- ㆍ 저자명
- 이상학,한재용,조순형,윤의박
- ㆍ 간행물명
- 한국결정성장학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1992년|2권 1호|pp.30-36 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국결정성장학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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$LiNbO_3$단결정의 조성비 변화에 따른 탄성표면파 특성을 축정하기 위해 47-50 $Li_2O$ mol% 조성의 $LiNbO_3$단결정을 성장시켜 $128^{circ}$Y cut wafer를 제조하였다. 제작된 wafer 위에 사진식각법을 이용하여 지연선(Delay line)을 형성시켰다. Pulse-echo overlap mehtod로 지연시간을 측정하여, 탄성표면파 속도$(V_s)$, 전기기계결합계수$(K_s^2)$ 및 $-50^{circ}C~100^{circ}C$ 온도 범위에서 지연시간 온도계수(TCD)의 조성비에 대한 의존성을 조사하였다.
In order to measure the characteristics of Surface Acousitc Wave(SA W) with compositions of $LiNbO_3$ single crystal, $128^{circ}$ Y cut wafer was fabricated from $LiNbO_3$ single crystals with the composition range of 47-50 $Li_2O$mol%. Delay lines were formed on the $128^{circ}$ Y cut wafer using photolithography technique. Delay time was measured by pulse-echo overlap method. The compositional dependence of SAW characteristics, SAW velocity, electro-mechanical coupling coefficient$(K_s^2)$ and temperature coefficient of delay time(TCD), were investigated.