최근 마이크로머시닝 기술을 이용하여 MEMS(micro electro mechanical systems)를 제작하는 연구가 미국, 일본 및 유럽 등지에서 활발히 진행 중이다. 마이크로머시닝 기술은 크게 표면 미 세가공(surface micromachining) 기술과 벌크 미세가공 기술 (bulk micromachining)로 나눌 수 있다. 표면 미세가공 기술은 실리콘 기판 위에 다결정 실리콘이나 질화막, 산화막 등을 입히고 이것을 선택적으로 제거하고 희생층을 부식하여 움직임이 가능한 초소형 구조물을 만들 수 있다. 벌크 미세가공 기술에는 주로 비등방성 식각법이 이용된다. 이는 실리콘의 결정방향에 따른 식 각률의 차이를 이용하므로 3차원적 구조를 갖는 기계구조 및 센서의 제작에 적합하다. 위에 언 급한 표면 및 벌크 미세가공 기술 외에도 실리콘-실리콘 접합, 실리콘-유리 접합 등의 접합 기 술이 추가될 수 잇다. 접합기술은 마이크로 센서나 구동기의 3차원적 구조 제작에 매우 효과적 이다. 1980-1990년대에 걸쳐 마이크로머시닝 기술과 접합기술을 이용한 마이크로 펌프 및 밸브 등에 대한 연구가 활발히 진행중이다 마이크로 펌프와 밸브는 미생물체 조작을 위한 수송 시 스템, 화학물 감지 시스템 분야와 약물 투여 시스템 등 생물학, 화학 및 의학 분야에 걸쳐 널리 응용될 수 있다. 2장에서는 최근 수년간 발표된 마이크로 펌프와 밸브 및 박막의 구동에 관한 연구들을, 3장에서는 마이크로 펌프의 응용예를 소개하고, 4장에서는 벌크 미세가공 기술 및 양극 접합 기술 등을 이용하여 제작 가능한 정전형 마이크로 펌프의 구조와 동작 원리 및 제조방법에 대하여 기술한다.