- 펄스레이저를 이용한 박막 증착
- ㆍ 저자명
- 김호성
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|42권 6호|pp.46-51 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 특집에서는 PLD장착 및 증착 방법을 2장에서는 소개하고 3장에서는 증착원리 및 특징을 4장에서는 PLD의 응용분야를 그리고 5장에서는 결론 및 향후 연구방향에 대하여 기술하였다.